激光加工装置、激光加工系统和激光加工方法
摘要:
本公开的一个观点的激光加工装置具有:载置台,其载置被加工物;光学系统,其将激光引导至被载置于载置台的被加工物;气体供给口,其向被加工物上的激光的照射区域的周边供给气体;气体回收口,其回收从气体供给口供给的气体;移动装置,其使被加工物上的激光的照射区域移动;以及控制装置,其根据照射区域的移动方向对从气体供给口向气体回收口流动的气体的气体流的方向进行控制,控制装置伴随着移动装置对照射区域的移动方向的变更,对气体流的方向进行变更,以使气体向与照射区域的移动方向相反的方向流动。
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