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公开(公告)号：CN111148596A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201780094447.1
申请日：2017-10-04
申请人： 极光先进雷射株式会社
摘要： 一种激光加工方法，使用激光加工系统对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工，该激光加工系统具有：激光装置，其输出紫外线的脉冲激光；转印掩模，其形成有使脉冲激光透过的转印图案；以及转印光学系统，其对转印像进行转印，该转印像是通过使脉冲激光透过转印图案而形成的，且形状与转印图案对应，其中，该激光加工方法具有以下的步骤：A.定位步骤，在脉冲激光的光轴方向上进行由转印光学系统转印的转印像的转印位置与透明材料之间的相对定位，该定位使得转印位置在光轴方向上成为从透明材料的表面向透明材料的内部进入了规定的深度ΔZsf的位置；以及B.照射步骤，对透明材料照射脉冲宽度为1ns～100ns的范围且转印位置处的射束的直径为10μm以上且150μm以下的脉冲激光。
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公开(公告)号：CN112088067A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201880093116.0
申请日：2018-06-27
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： B23K26/142
摘要： 本公开的一个观点的激光加工装置具有：载置台，其载置被加工物；光学系统，其将激光引导至被载置于载置台的被加工物；气体供给口，其向被加工物上的激光的照射区域的周边供给气体；气体回收口，其回收从气体供给口供给的气体；移动装置，其使被加工物上的激光的照射区域移动；以及控制装置，其根据照射区域的移动方向对从气体供给口向气体回收口流动的气体的气体流的方向进行控制，控制装置伴随着移动装置对照射区域的移动方向的变更，对气体流的方向进行变更，以使气体向与照射区域的移动方向相反的方向流动。
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公开(公告)号：CN112088067B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201880093116.0
申请日：2018-06-27
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： B23K26/142
摘要： 本公开的一个观点的激光加工装置具有：载置台，其载置被加工物；光学系统，其将激光引导至被载置于载置台的被加工物；气体供给口，其向被加工物上的激光的照射区域的周边供给气体；气体回收口，其回收从气体供给口供给的气体；移动装置，其使被加工物上的激光的照射区域移动；以及控制装置，其根据照射区域的移动方向对从气体供给口向气体回收口流动的气体的气体流的方向进行控制，控制装置伴随着移动装置对照射区域的移动方向的变更，对气体流的方向进行变更，以使气体向与照射区域的移动方向相反的方向流动。
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公开(公告)号：CN111148596B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN201780094447.1
申请日：2017-10-04
申请人： 极光先进雷射株式会社
摘要： 一种激光加工方法，使用激光加工系统对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工，该激光加工系统具有：激光装置，其输出紫外线的脉冲激光；转印掩模，其形成有使脉冲激光透过的转印图案；以及转印光学系统，其对转印像进行转印，该转印像是通过使脉冲激光透过转印图案而形成的，且形状与转印图案对应，其中，该激光加工方法具有以下的步骤：A.定位步骤，在脉冲激光的光轴方向上进行由转印光学系统转印的转印像的转印位置与透明材料之间的相对定位，该定位使得转印位置在光轴方向上成为从透明材料的表面向透明材料的内部进入了规定的深度ΔZsf的位置；以及B.照射步骤，对透明材料照射脉冲宽度为1ns～100ns的范围且转印位置处的射束的直径为10μm以上且150μm以下的脉冲激光。
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公开(公告)号：CN111417487A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880076915.7
申请日：2018-01-24
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： B23K26/02 , B23K26/00 , B23K26/382 , B23K26/50
摘要： 一种激光加工方法，对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工，其中，该激光加工方法具有以下步骤：A.定位步骤，以使转印位置成为在光轴方向上从透明材料的表面起以规定的深度ΔZsf进入透明材料的内部后的位置的方式对转印像的转印位置进行定位；B.照射条件取得步骤；C.判定步骤，根据照射条件，判定透明材料的表面上的脉冲激光的最大注量是否在规定的范围内；以及D.控制步骤，在判定为最大注量在规定的范围内的情况下，容许脉冲激光的照射，其中，目标注量为与脉冲激光的光轴垂直的方向上的、转印位置处的射束的截面内的平均注量，将透明材料的表面上的射束的截面分割为多个小区域，最大注量为分割后的每个小区域的注量中的最大值。
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