本发明提供一种多晶硅生产方法，包括以下步骤：在反应开始前，先利用微波将还原炉中的硅芯加热至第一设定温度，然后将硅芯击穿后再施加电流，以在硅芯的表面化学沉积多晶硅，得到硅棒；在反应过程中，如对硅棒断电，则在断电后重启前，先利用微波将硅棒加热至第二设定温度，然后将硅棒击穿后再施加电流，以在硅棒表面继续化学沉积多晶硅。本发明还提供一种多晶硅生产系统，包括馈能单元和防护单元，馈能单元包括馈能天线，馈能天线设于还原炉上的能够与还原炉内部连通的开口处，用于产生和发射微波；防护单元用于将馈能天线与还原炉内的氛围隔开，以保护馈能天线。本发明能够实现多晶硅的平稳生长，得到性能良好的多晶硅产品，以提高产品质量。