位于SOI衬底上的具有沟槽改进的电流路径的高压二极管
摘要:
本发明题为“位于SOI衬底上的具有沟槽改进的电流路径的高压二极管”。本发明公开了一种半导体器件,该半导体器件可包括绝缘体上硅(SOI)衬底和形成于SOI衬底上的二极管,该二极管包括阴极区域和阳极区域。该半导体器件可包括至少一个击穿电压沟槽,该至少一个击穿电压沟槽设置在阴极区域的边缘处,并且位于阴极区域与阳极区域之间。
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