发明授权
- 专利标题： SC切型石英晶片在线研磨测频方法
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申请号： CN202010942406.7申请日： 2020-09-09
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公开(公告)号： CN112162146B公开(公告)日： 2021-04-27
- 发明人: 潘凌锋 , 郭彬 , 陈浙泊 , 陈一信 , 林建宇 , 余建安 , 颜文俊 , 林斌 , 周巍 , 吴荻苇
- 申请人： 浙江大学台州研究院
- 申请人地址： 浙江省台州市市府大道西段618号
- 专利权人： 浙江大学台州研究院
- 当前专利权人： 浙江大学台州研究院
- 当前专利权人地址： 浙江省台州市市府大道西段618号
- 代理机构： 杭州天昊专利代理事务所
- 代理商 董世博; 赵志鹏
- 主分类号： G01R23/02
- IPC分类号： G01R23/02 ; G01R29/027 ; G01R29/033
摘要：
本发明公开了一种在线研磨测频系统，包括测频测试功能和在线测频功能；测频测试功能包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能；在线测频功能包括自动搜索功能和跟踪测频功能；本发明提供了一种处理效率高、处理精度高，双模频率精准区分的一种在线研磨测频系统。
公开/授权文献
- CN112162146A 一种在线研磨测频系统 公开/授权日：2021-01-01
