发明公开
- 专利标题： 一种方形石英舟及其加工工艺
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申请号： CN202011149492.2申请日： 2020-10-23
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公开(公告)号： CN112234006A公开(公告)日： 2021-01-15
- 发明人: 张忠恕 , 陈强 , 王连连 , 张娟 , 冯继瑶 , 于洋 , 张连兴 , 李宝军 , 赵晓亮 , 李翔星 , 卢亮 , 周洁
- 申请人： 北京凯德石英股份有限公司
- 申请人地址： 北京市通州区漷县镇工业开发区漷兴三街6号
- 专利权人： 北京凯德石英股份有限公司
- 当前专利权人： 北京凯德石英股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市通州区漷县镇工业开发区漷兴三街6号
- 代理机构： 北京维正专利代理有限公司
- 代理商 赵万凯
- 主分类号： H01L21/673
- IPC分类号： H01L21/673
摘要：
本申请公开了一种方形石英舟及其加工工艺，涉及石英舟加工的技术领域，其包括两个间隔设置的端板，两个端板之间固设有上架体和下架体，上架体和下架体上下间隔设置，上架体包括三个间隔设置的长条型棒材，下架体包括四个间隔设置的开槽棒，上架体和下架体共同围成两个用于放置硅片的区域。本申请具有增加了硅片的放置区域，进而增加硅片的放置量的效果。
公开/授权文献
- CN112234006B 一种方形石英舟及其加工工艺 公开/授权日：2021-07-13
IPC分类:
