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公开(公告)号：CN115368003B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210956511.5
申请日：2022-08-10
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/049
摘要： 本申请公开了一种压模装置，属于石英玻璃制品的技术领域，其包括上模、下模及支撑架，支撑架上设置有可穿设于管道内的螺纹杆及直杆，螺纹杆的外周面套设有移动块，移动块与螺纹杆螺纹传动配合，直杆穿过移动块，支撑架上固定有电机，电机的输出端与螺纹杆的一端固定连接，移动块上设置有用于驱动上模沿竖向移动的驱动组件。本申请具有上模不易发生偏移，加工效率较高的效果。
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公开(公告)号：CN114975189A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210732039.7
申请日：2022-06-27
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/31 , G01K13/024
摘要： 本申请涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种湿氧泡瓶，及湿氧器，湿氧器安装有该湿氧泡瓶，包括瓶体、进气管及测温管，瓶体具有瓶腔，瓶体设置有连通瓶腔的进气口、出气口、进液口及测温口，进气管从进气口伸入瓶腔，测温管安装于测温口，且测温管伸入瓶腔，进气口和出气口位于瓶体的上部，进液口及测温口设于出气口下方，本申请方案瓶体分别设置进气口、出气口、进液口及测温口，使进气、出气、进液及测温四个功能在空间位置上独立，互不影响，提高氧气湿化效率；将进气管设于测温口和进液口的中间，在进液过程中，自进液口对应区域向外温度逐渐变化，测温管位于进气管远离进液一侧，减小进液对测温的影响，便于得出进气管周侧温度。
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公开(公告)号：CN114963228A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210732025.5
申请日：2022-06-27
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： F23L15/04 , F23L7/00 , F23D14/02 , F23D14/60 , F23D14/62 , F23Q13/02 , F23D14/66 , F23D14/72
摘要： 本申请总体来说涉及炉管设备技术领域，具体而言，涉及一种点火帽及点火装置，点火装置安装该点火帽，第一管体用于输送氧气，第二管体用于输送氢气，将点火器靠近第二出气口设置，第一出气口位于第二出气口的前方，第一出气口设于第一管体的周侧，使第一出气口的出气方向与第二出气口的出气方向相交，加速氢氧混合，在点火装置实际使用过程中，可以将第一管体位于第二管体的上方，使第一出气口朝上设置，氧气的密度大于氢气，氧气与氢气上下相向流动混合，提高氢氧混合均匀性，且氧气从第一管体喷出后，沿点火腔内壁向下流动，有利于氧气被加热器均匀加热，保证点火腔内气体的温度，使气体燃烧充分，避免爆炸的危险。
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公开(公告)号：CN112374734B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202011147416.8
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/213
摘要： 本申请公开了一种大口径吊环石英管加工工装，包括底架，底架上稳定连接有两个沿其长度方向间隔设置的调节杆，两个调节杆上稳定连接有一沿底架长度方向设置的安装杆，安装杆能伸入管体，安装杆伸入管体内的部分耐高温，安装杆上固定连接有多个支撑座，支撑座的熔点不小于石英玻璃的熔点，支撑座包括多个支撑板，套环与支撑板用于可拆卸连接，多个套环连接于支撑板后同轴，支撑板能将套环与管体内侧面抵触压紧。本申请具有便于对石英管内部的套环进行加工的效果。
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公开(公告)号：CN112687514B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110272939.3
申请日：2021-03-13
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种钟罩及应用其的等离子去胶机，其涉及一种去胶机，其包括供硅片放入的石英罩，所述石英罩上设有供氧气输入的进气管，所述进气管的端壁上且位于石英罩外连通设有输气管，所述石英罩内设有出气管，所述出气管与输气管之间设有至少一个分支气管，所述出气管的侧壁上设有若干个出气孔，若干个所述出气管沿出气管的轴向均布。本申请具有的效果在于可以对硅片均匀去胶，提高去胶的效果。
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公开(公告)号：CN112608014A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202110071890.5
申请日：2021-01-20
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/207 , C03B20/00
摘要： 本申请涉及石英管的技术领域，特别涉及一种多通道石英方管及其生产设备和生产工艺，该多通道石英方管由一方管半成品加热焊接而成，方管半成品包括进口段石英管、出口段石英管和至少一个气道隔板，进口段石英管的两宽侧壁上均贯穿开设有第一插槽，第一插槽贯穿进口段石英管的焊接端；出口段石英管的两宽侧壁上均贯穿开设有第二插槽，第二插槽贯穿出口段石英管的焊接端，气道隔板的两侧均设置有可插入第一插槽的第一焊接条、以及可插入第二插槽第二焊接条，第一焊接条和第一插槽的横截面以及长度均相同，第二焊接条和第二插槽的横截面以及长度均相同，第一焊接条和第二焊接条连接设置。本申请具有提高成品率的优点。
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公开(公告)号：CN116207016A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310284132.0
申请日：2023-03-22
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , F27B1/00 , F27B1/10 , F27B1/20 , H01L21/677
摘要： 本申请涉及一种立式石英炉管及其加工工艺，属于炉管设备的技术领域，一种立式石英炉管包括管体，所述管体一端密封并固定连接有与管体连通的偶管，管体远离所述偶管的一端安装有真空泵，所述真空泵靠近管体的一端安装有第三法兰，所述真空泵和所述管体通过第三法兰可拆卸连接，且管体靠近真空泵的一端设有用于安装晶舟的移动机构，所述移动机构包括设置在管体端部并向远离管体的方向延伸的壳体，所述壳体靠近管体的一端与管体侧壁抵接，且所述壳体外侧设有连接管体的固定组件，所述壳体远离管体的一端设有驱动晶舟向靠近所述管体内部的方向移动的安装组件。本申请具有便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率的效果。
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公开(公告)号：CN112676238A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202110288194.X
申请日：2021-03-18
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种清洗半导体晶片的石英缸，包括底座，设置在底座上的石英缸体，所述石英缸体上部开口，开口处设置有盖板，石英缸体的底部设有倾斜板，处于倾斜板底端的石英缸体侧壁上设有排液口，所述石英缸体的内部可拆卸的连接有晶片夹持组件，所述石英缸体内还设有清洗毛刷，所述的底座上设有驱动晶片夹持组件动作的驱动组件。本申请的有益效果为：可以在清洗前将多个晶片固定在晶片夹持组件上，之后再将晶片夹持组件安装在石英缸内，通过清洗液进行清洗，可以同时清洗多个晶片，提高了清洗效率以及操作的安全性。
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公开(公告)号：CN112374734A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011147416.8
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/213
摘要： 本申请公开了一种大口径吊环石英管加工工装，包括底架，底架上稳定连接有两个沿其长度方向间隔设置的调节杆，两个调节杆上稳定连接有一沿底架长度方向设置的安装杆，安装杆能伸入管体，安装杆伸入管体内的部分耐高温，安装杆上固定连接有多个支撑座，支撑座的熔点不小于石英玻璃的熔点，支撑座包括多个支撑板，套环与支撑板用于可拆卸连接，多个套环连接于支撑板后同轴，支撑板能将套环与管体内侧面抵触压紧。本申请具有便于对石英管内部的套环进行加工的效果。
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公开(公告)号：CN112250286A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011147426.1
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/06 , C03B23/043 , C03B20/00
摘要： 本申请涉及一种用于生产螺旋石英管的加工装置，属于石英管加工设备领域，包括箱体以及绕卷机构；所述绕卷机构包括竖向设置的转轴，所述转轴的顶端设置有夹持机构，所述转轴的底端设置有带动所述转轴进行回转的驱动件，所述箱体上设置有能够带动所述驱动件以及转轴同时进行上下移动的控制机构。本申请具有加快螺旋石英管生产效率的效果。
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