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公开(公告)号：CN111023147B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN201911331280.3
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： F23Q2/16
摘要： 本发明公开了一种自测温螺旋式点火腔室，包括本体、第一连接管、螺旋管、匀流板、第二连接管、定位管、第三连接管、第一球碗管、第四连接管、第五连接管、第六连接管、第二球碗管，所述本体与第一连接管固定连接，所述第一连接管与第五连接管固定连接，所述本体左端端头位置焊接有匀流板，所述匀流板一端通过焊接方式连接着第一连接管，另一端固定连接着第二连接管，所述第二连接管与螺旋管的一端固定焊接，所述螺旋管的另一端通过焊接方式连接着第三连接管，所述螺旋管中心位置设有定位管，所述定位管靠近第二连接管一端为密封头，所述密封头为弧形头结构，所述定位管另一端延伸至所述本体内壁与第一球碗管固定焊接，且相通。
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公开(公告)号：CN111013515B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201911331293.0
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本发明公开一种双层立式石英管载体及其加工方法，包括内管、外管、第一石英片、第二石英片、法兰、第一偶管、第二偶管、第三偶管、通气管、第一小法兰、第二小法兰、第三小法兰，所述内管镶嵌在外管内，所述内管与外管通过焊接方式固定连接在一起，所述内管、外管之间空隙距离为15mm，所述第一偶管、第二偶管、第三偶管、固定焊接在所述内管内壁上，所述第一小法兰、第二小法兰、第三小法兰与所述内管固定焊接，所述通气管与内管固定焊接，且位于通气管下固定焊接支撑片。
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公开(公告)号：CN116207016A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310284132.0
申请日：2023-03-22
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , F27B1/00 , F27B1/10 , F27B1/20 , H01L21/677
摘要： 本申请涉及一种立式石英炉管及其加工工艺，属于炉管设备的技术领域，一种立式石英炉管包括管体，所述管体一端密封并固定连接有与管体连通的偶管，管体远离所述偶管的一端安装有真空泵，所述真空泵靠近管体的一端安装有第三法兰，所述真空泵和所述管体通过第三法兰可拆卸连接，且管体靠近真空泵的一端设有用于安装晶舟的移动机构，所述移动机构包括设置在管体端部并向远离管体的方向延伸的壳体，所述壳体靠近管体的一端与管体侧壁抵接，且所述壳体外侧设有连接管体的固定组件，所述壳体远离管体的一端设有驱动晶舟向靠近所述管体内部的方向移动的安装组件。本申请具有便于快速将晶舟安装在炉管中，提高安装效率的效果。
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公开(公告)号：CN112676238A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202110288194.X
申请日：2021-03-18
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种清洗半导体晶片的石英缸，包括底座，设置在底座上的石英缸体，所述石英缸体上部开口，开口处设置有盖板，石英缸体的底部设有倾斜板，处于倾斜板底端的石英缸体侧壁上设有排液口，所述石英缸体的内部可拆卸的连接有晶片夹持组件，所述石英缸体内还设有清洗毛刷，所述的底座上设有驱动晶片夹持组件动作的驱动组件。本申请的有益效果为：可以在清洗前将多个晶片固定在晶片夹持组件上，之后再将晶片夹持组件安装在石英缸内，通过清洗液进行清洗，可以同时清洗多个晶片，提高了清洗效率以及操作的安全性。
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公开(公告)号：CN112374734A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202011147416.8
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/213
摘要： 本申请公开了一种大口径吊环石英管加工工装，包括底架，底架上稳定连接有两个沿其长度方向间隔设置的调节杆，两个调节杆上稳定连接有一沿底架长度方向设置的安装杆，安装杆能伸入管体，安装杆伸入管体内的部分耐高温，安装杆上固定连接有多个支撑座，支撑座的熔点不小于石英玻璃的熔点，支撑座包括多个支撑板，套环与支撑板用于可拆卸连接，多个套环连接于支撑板后同轴，支撑板能将套环与管体内侧面抵触压紧。本申请具有便于对石英管内部的套环进行加工的效果。
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公开(公告)号：CN112250286A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011147426.1
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/06 , C03B23/043 , C03B20/00
摘要： 本申请涉及一种用于生产螺旋石英管的加工装置，属于石英管加工设备领域，包括箱体以及绕卷机构；所述绕卷机构包括竖向设置的转轴，所述转轴的顶端设置有夹持机构，所述转轴的底端设置有带动所述转轴进行回转的驱动件，所述箱体上设置有能够带动所述驱动件以及转轴同时进行上下移动的控制机构。本申请具有加快螺旋石英管生产效率的效果。
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公开(公告)号：CN107706126A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201610644932.9
申请日：2016-08-09
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67005
摘要： 本发明公开了一种立式钟罩，包括：筒体和封头，筒体部分为圆形直筒结构，封头采用半椭圆结构，开口端固定有一乳白法兰，在所述筒体内设有硅舟。本发明的优点是：结构简单，能够快速适应生产线的制作。有效的避免了焊接过程的二次污染，产品洁净度高；并且利用车床旋转能够保证管材的同心度，避免管体与法兰偏离；焊口厚度均匀，尺寸精度高，焊接过程产生的应力小，不易炸裂。
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公开(公告)号：CN118545896A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410528372.5
申请日：2024-04-29
申请人： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 , 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种石英异型冷加工件加工工艺及石英异型冷加工件，其中主要技术方案为石英异型冷加工件加工工艺，其包括以下步骤：S1铣削成型、S2磨削基准面、S3切断分件、S4平面研磨、S5酸洗、S6火焰抛光、S7组合焊接、S8退火。本申请能够提高承托部的平面度，提高硅片的定位效果，同时减少硅片的划伤。
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公开(公告)号：CN111517257B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN201911331291.1
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本发明公开一种托盘升降轴焊件及其加工工艺，包括第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒、支架板、固定台、延伸轴，所述第一连接棒、第二连接棒、第三连接棒、第四连接棒通过焊接方式固定为一体，所述第三连接棒为乳白石英，位于所述第四连接棒上端固定有延伸轴，所述延伸轴与第四连接棒为一体结构，位于所述延伸轴与所述第四连接棒相接处外圆周上固定设有支架板，所述第一连接棒上中心位置开有第一通孔，所述第一通孔延伸至第二连接棒处。
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公开(公告)号：CN116412397A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202310286490.5
申请日：2023-03-22
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种自动调节式氢氧燃烧腔室，涉及氧化扩散炉装置的技术领域，其包括腔体，所述腔体一端设有出气口，所述腔体的另一端连通有氢气输入管和氧气输入管，所述氧气输入管内的内壁上转动连接有风轮，所述氢气输入管内设有用于限制氢气流量的限流组件，所述氢气输入管与所述氧气输入管之间设有用于根据风轮流速控制所述限流组件限流效果的传动机构。本申请具有根据氧气流速自动调节氢气流速的效果。
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