发明公开
- 专利标题： 转移膜、转移组件和微器件曲面转移方法
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申请号： CN202011123961.3申请日： 2020-10-20
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公开(公告)号： CN112234019A公开(公告)日： 2021-01-15
- 发明人: 郭婵 , 龚政 , 潘章旭 , 刘久澄 , 胡诗犇 , 王建太 , 庞超 , 龚岩芬 , 陈志涛
- 申请人： 广东省科学院半导体研究所
- 申请人地址： 广东省广州市天河区长兴路363号
- 专利权人： 广东省科学院半导体研究所
- 当前专利权人： 广东省科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址： 广东省广州市天河区长兴路363号
- 代理机构： 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 张洋
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683
摘要：
本发明的实施例提供了一种转移膜、转移组件和微器件曲面转移方法，涉及微器件转移领域。该转移膜包括基底层、吸水层和拾取层，吸水层的一侧与基底层连接，另一侧和拾取层连接，基底层用于在吸水层吸水后与吸水层分离；拾取层用于拾取微器件，并用于将微器件转移至待转移基底上。该转移膜能完成微器件的转移，既适用于微器件从平面基底到平面基底的转移，也适用于平面基底到曲面基底的转移，转移方法简单，效率高。
公开/授权文献
- CN112234019B 转移膜、转移组件和微器件曲面转移方法 公开/授权日：2023-01-17
IPC分类:
