本发明公开一种制备甲基氯硅烷方法，包括取氯硅烷、甲烷为原料，对所述原料分别进行预处理，并混合，将混合后的原料在反应器中加热条件下，反应生成甲基氯硅烷。本发明还公开一种制备甲基氯硅烷的装置，包括：第一缓冲罐，设有第一进料管线，用于放置氯硅烷；第二缓冲罐，设有第二进料管线，用于放置甲烷；反应器，与所述第一缓冲罐和所述第二缓冲罐连接，用于氯硅烷和甲烷进行反应；加热器件，包括第一加热器、第二加热器、第三加热器，分别用于对第一缓冲罐、第二缓冲罐、反应器进行加热。本发明的原料易得，工艺操作简单，有利于降低甲基氯硅烷的生产成本。