发明公开
CN112342510A 一种刚性复合型压印模具及其制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题： 一种刚性复合型压印模具及其制备方法
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申请号： CN201910722838.4申请日： 2019-08-06
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公开(公告)号： CN112342510A公开(公告)日： 2021-02-09
- 发明人: 林晓辉 , 成海涛 , 杨兆国 , 顾永新
- 申请人： 上海量子绘景电子股份有限公司
- 申请人地址： 上海市嘉定区外冈镇汇富路946号3幢203室
- 专利权人： 上海量子绘景电子股份有限公司
- 当前专利权人： 上海量子绘景电子股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市嘉定区外冈镇汇富路946号3幢203室
- 代理机构： 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/04 ; C23C14/16 ; G03F7/00
摘要：
本发明提供一种刚性复合型压印模具及其制备方法，所述制备方法包括：提供一刚性基材；于所述刚性基材上表面形成图形化掩膜，并以所述图形化掩膜为掩膜图形对所述刚性基材进行刻蚀，于所述刚性基材中形成凸起结构；去除所述图形化掩膜，并于刻蚀后的所述刚性基材中的基底上表面及所述凸起结构表面形成金属脱模层。通过本发明所述刚性复合型压印模具及其制备方法，解决了现有金属压印模具制备成本高且不环保的问题。
IPC分类:
