Invention Publication
- Patent Title: 半导体器件以及半导体器件制造方法
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Application No.: CN202010796314.2Application Date: 2020-08-10
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Publication No.: CN112614847APublication Date: 2021-04-06
- Inventor: 李彰洙 , 李钟鸣 , 金益秀 , 任智芸
- Applicant: 三星电子株式会社
- Applicant Address: 韩国京畿道
- Assignee: 三星电子株式会社
- Current Assignee: 三星电子株式会社
- Current Assignee Address: 韩国京畿道
- Agency: 北京市立方律师事务所
- Agent 李娜
- Priority: 10-2019-0123150 20191004 KR
- Main IPC: H01L27/11563
- IPC: H01L27/11563 ; H01L27/11568 ; H01L27/11578

Abstract:
提供了一种半导体器件以及半导体器件制造方法。所述半导体器件可以包括:堆叠结构,所述堆叠结构位于衬底上,所述堆叠结构包括多个介电层和多个透明导电氧化物层,所述介电层和所述透明导电氧化物层交替地堆叠,沿竖直方向彼此相邻的每个所述介电层和所述透明导电氧化物层中的相应的透明导电氧化物层具有基本相等的水平宽度;以及沟道结构,所述沟道结构延伸穿过所述堆叠结构,所述沟道结构包括信息存储层、位于所述信息存储层的内部的沟道层和位于所述沟道层的内部的掩埋介电层。
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IPC分类: