一种芯片型微粒子光悬浮装置及微粒子捕获方法
摘要:
本发明公开了一种芯片型微粒子光悬浮装置,依次顺序设有驱动电路板、半导体激光器、微型透镜组、波片、微粒子腔室、光电探测器;半导体激光器位于驱动电路板上;微型透镜组用于将半导体激光器发射的散射光束聚焦形成类高斯光束的出射光;波片用于调整出射光的偏振态,实现对微粒子腔室内微粒子的悬浮捕获;光电探测器用于将接受的光信号转化为电信号,输出微粒子腔室内微粒子的状态信息;芯片型微粒子光悬浮装置还包括陶瓷压电片,陶瓷压电片的振动带动微粒子腔室,激发微粒子腔室内的微粒子悬浮在微粒子腔室内。
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