公开(公告)号：CN112635094A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202110264130.6

申请日：2021-03-11

申请人： 中国人民解放军国防科技大学

发明人： 吴宇列 ,  吴学忠 ,  肖定邦 ,  蒲俊吉 ,  曾凯

IPC分类号： G21K1/00 ,  G01N15/00

摘要： 本发明公开了一种芯片型微粒子光悬浮装置，依次顺序设有驱动电路板、半导体激光器、微型透镜组、波片、微粒子腔室、光电探测器；半导体激光器位于驱动电路板上；微型透镜组用于将半导体激光器发射的散射光束聚焦形成类高斯光束的出射光；波片用于调整出射光的偏振态，实现对微粒子腔室内微粒子的悬浮捕获；光电探测器用于将接受的光信号转化为电信号，输出微粒子腔室内微粒子的状态信息；芯片型微粒子光悬浮装置还包括陶瓷压电片，陶瓷压电片的振动带动微粒子腔室，激发微粒子腔室内的微粒子悬浮在微粒子腔室内。

公开(公告)号：CN115200780A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202210736715.8

申请日：2022-06-27

申请人： 中国人民解放军国防科技大学

发明人： 吴宇列 ,  吴学忠 ,  肖定邦 ,  蒲俊吉 ,  曾凯

IPC分类号： G01L21/22 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

摘要： 本发明公开了一种芯片级微粒子真空腔室及其制备方法，真空腔室包括腔室本体、第一封装层和第二封装层，腔室本体包括第一腔室、第二腔室和第三腔室；第一腔室、第二腔室和第三腔室均以第一封装层为底面，以第二封装层为顶面，第一腔室顶端与第二封装层之间还设有第三封装层，第一腔室、第二腔室和第三腔室之间设有相互连通的通道；第一腔室内装有微粒子，微粒子不能通过通道转移，第二腔室内设有无引线真空度检测传感器，无引线真空度检测传感器为具有磁性的悬臂梁，第三腔室内装有吸气剂。制备方法包括制备腔室本体、封装层、悬臂梁，并进行组装。本发明的芯片级微粒子真空腔室体积小、无外部引线，设计加工难度低。

公开(公告)号：CN112635094B

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN202110264130.6

申请日：2021-03-11

申请人： 中国人民解放军国防科技大学

发明人： 吴宇列 ,  吴学忠 ,  肖定邦 ,  蒲俊吉 ,  曾凯

IPC分类号： G21K1/00 ,  G01N15/00

摘要： 本发明公开了一种芯片型微粒子光悬浮装置，依次顺序设有驱动电路板、半导体激光器、微型透镜组、波片、微粒子腔室、光电探测器；半导体激光器位于驱动电路板上；微型透镜组用于将半导体激光器发射的散射光束聚焦形成类高斯光束的出射光；波片用于调整出射光的偏振态，实现对微粒子腔室内微粒子的悬浮捕获；光电探测器用于将接受的光信号转化为电信号，输出微粒子腔室内微粒子的状态信息；芯片型微粒子光悬浮装置还包括陶瓷压电片，陶瓷压电片的振动带动微粒子腔室，激发微粒子腔室内的微粒子悬浮在微粒子腔室内。