发明授权
- 专利标题： 离子植入机及离子植入设备
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申请号： CN201980057342.8申请日： 2019-08-27
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公开(公告)号： CN112640025B公开(公告)日： 2023-11-21
- 发明人: 詹姆斯·艾伦·皮克斯利 , 艾立克·赫尔曼森 , 菲力浦·莱恩 , 留德米拉·史东 , 汤玛士·史泰西
- 申请人： 瓦里安半导体设备公司
- 申请人地址： 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
- 专利权人： 瓦里安半导体设备公司
- 当前专利权人： 瓦里安半导体设备公司
- 当前专利权人地址： 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号(邮政编码:01930)
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 杨贝贝; 臧建明
- 优先权： 62/728,429 2018.09.07 US
- 国际申请： PCT/US2019/048332 2019.08.27
- 国际公布： WO2020/051025 EN 2020.03.12
- 进入国家日期： 2021-03-02
- 主分类号： H01J37/147
- IPC分类号： H01J37/147 ; H01J37/317
公开/授权文献
- CN112640025A 离子植入系统中的发泡体 公开/授权日：2021-04-09
