- 专利标题: 一种CFET结构、其制备方法以及应用其的半导体器件
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申请号: CN202011547623.2申请日: 2020-12-24
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公开(公告)号: CN112687626B公开(公告)日: 2023-01-03
- 发明人: 殷华湘 , 罗彦娜 , 张青竹 , 吴振华
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 北京辰权知识产权代理有限公司
- 代理商 金铭
- 主分类号: H01L21/8238
- IPC分类号: H01L21/8238 ; H01L27/092
摘要:
本发明涉及一种制备CFET器件的方法及CFET器件,包括:第一环绕式栅极结构和第二环绕式栅极结构的形成具体为:假栅去除后,形成界面层和高K介电层;沉积第一阻挡层和I型金属栅功函数层;填充隔离介质;对隔离介质选择性刻蚀,暴露出第一或第二堆栈部区域;将暴露出的堆栈部的I型金属功函数层选择性腐蚀去掉;将剩余的隔离介质去掉;沉积II型金属功函数层;沉积第二阻挡层和导电金属层。本发明提供的CFET的制备方法可以得到上下不同沟道类型区的不同环绕式金属栅层,形成相对应的功函数层,实现CFET器件中不同分层沟道的阈值的分别灵活。
公开/授权文献
- CN112687626A 一种CFET结构、其制备方法以及应用其的半导体器件 公开/授权日:2021-04-20
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