本发明公开一种具有主动光学防抖功能的面阵扫频测距/厚的装置，属于测距/厚领域，包括第一、二二向色镜、分束器、远心镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件，第一二向色镜的透射光方向上设置分束器，分束器反射光方向上设置有载物台，分束器透射光方向上设置可运动反射器件，分束器具有四个端口，第一端口和第三端口位于相对的两个边上，第一端口正对第一二向色镜，第二端口正对载物台，第三端口正对可运动反射器件，第四端口的方向上设置有第二二向色镜，第二二向色镜透射光方向上设置远心镜头，远心镜头连接有相机，第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪，光谱仪连通采集控制单元。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。