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公开(公告)号：CN114757903B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202210362277.3
申请日：2022-04-07
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明提供了一种光器件芯片封装金线缺陷检测方法，属于机器视觉缺陷检测领域，本发明方法包括如下步骤：S1采集光器件芯片上具有封装金线的区域块图像，通过模板匹配检测获得金线的焊点，S2对封装金线的区域块图像依据灰度均值和灰度方差进行基于焊点寻迹的金线线区域提取，获得金线线区域，S3对提取的金线线区域进行灰度分析以及特征计算，完成金线缺陷检测。本发明检测方法的检测速度快，鲁棒性强。
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公开(公告)号：CN112731345B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202011517751.2
申请日：2020-12-21
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置，涉及激光测距领域，包括第一二向色镜、分束器、第二二向色镜、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元、可运动的部分反射元件，第一二向色镜的透射光方向上设分束器，分束器反射光方向上设载物台，在载物台和分束器之间设置可运动的部分反射元件，分束器具有四个端口，第一端口正对第一二向色镜，第二端口正对可运动的部分反射元件，第四端口的方向上设有第二二向色镜，第二二向色镜透射光方向上设置镜头，镜头与相机相连，相机与采集控制单元相连，第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪，光谱仪连通采集控制单元。本发明装置能减小测量误差，其结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号：CN117470774A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311335884.1
申请日：2023-10-12
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明提供基于光纤放大器的变压器油中多组分气体检测装置和方法，属于痕量气体检测领域，其包括至少六支不同的激光器，两两不同的激光器形成一组，同一组的激光器通过波分复用器合束后输入到同一路光纤，至少两路光纤为双包层铒镱共掺光纤，双包层铒镱共掺光纤上设置有激光泵浦源，多路双包层铒镱共掺光纤被合束后输入光声池一侧，至少一路光纤为保偏光纤，保偏光纤输入光声池另一侧，第二自聚焦透镜和第一自聚焦透镜相对设置且位置齐平，对光声池中光声效应产生的声音信号进行处理获得待测气体浓度。本发明还提供了以上装置的检测方法。本发明能够克服现有光声光谱技术中中远红外方案交叉干扰大、价格昂贵，近红外方案灵敏度不足的问题。
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公开(公告)号：CN117146717A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311047561.2
申请日：2023-08-17
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02 , G01B9/02055 , G01B11/24
摘要： 本发明公开了基于单次测量的薄膜参数计算方法、干涉测量装置和系统，属于微纳结构探测领域。本发明只需单次测量，就可以同时获得薄膜厚度分布及表面形貌，避免多次测量带来的测量误差，更适用于实际工业环境。对每个扫描点执行上述计算方法，得到每个扫描点的光程差信息，将其组合得到薄膜样品的表面形貌，由于薄膜厚度计算中引入补偿量函数，使一微米以下的薄膜表面形貌准确度更高。本发明适用于使用Linnik型干涉结构或Mirau型干涉结构，还适用于使用宽光谱光源或扫频光源，可根据工业场景灵活调整。
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公开(公告)号：CN112731344B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202011517749.5
申请日：2020-12-21
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的放大型面阵扫频测距/厚的装置，涉及激光扫频测距领域，包括第一、二二向色镜、分束器、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件，第一二向色镜的透射光方向上设分束器，分束器反射光方向上设载物台，载物台和分束器之间设镜头，分束器有四个端口，第一端口正对第一二向色镜，第二端口正对镜头，第三端口正对可运动反射器件，第四端口正对第二二向色镜，第二二向色镜透射光方向上设置相机，相机与采集控制单元相连，第二二向色镜反射光方向上设光谱仪，光谱仪连通采集控制单元，采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号：CN117091534A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311083386.2
申请日：2023-08-25
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明提供一种样品形貌结构检测系统及方法，包括：光源单元，用于发射光束；参考臂，用于将发射光束反射，提供第一路反射光束；测量臂，用于将所述发射光束传输至待测样品，并将从待测样品反射的光束收集，提供第二路反射光束；光分析成像模块，用于获取第一路反射光束和第二路反射光束的干涉光谱，并基于预先标定的测量臂反射光谱中峰值波数与待测样品表面位置的关系和第二路反射光束确定干涉光谱在傅里叶空间域的符号，以提取出待测样品的真实反射信号，并基于真实反射信号得到样品形貌结构信息。本发明无需多次傅里叶变换，无需添加色散元件，无需添加压电位移台、电光调制器、声光调制器等相移调制设备，并且仅需单次测量，测量时间缩短。
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公开(公告)号：CN116907383A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202311089248.5
申请日：2023-08-25
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明提供一种多层折射样品形貌结构检测系统及方法，方法包括：发射光束；获取发射光束反射得到的第一路反射光束；获取发射光束经色散元件和光学延迟单元传输至待测样品后从待测样品反射的第二路反射光束；光学延迟单元用于调制不同次测量的第二路反射光束的光程，使得不同次测量得到的待测样品形貌结构能够拼接；将第一路和第二路反射光束的干涉光谱进行分析成像，得到待测样品的形貌结构信息，并将不同次测量得到待测样品形貌结构信息拼接；第二路反射光束中每个反射界面的反射信号具有相同符号的非线性相位，使得光分析成像模块对干涉光谱相位补偿时真实信号被增强，真实信号共轭的镜像信号被抑制。本发明实现对大深径比样品的形貌检测。
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公开(公告)号：CN114972233A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210545211.8
申请日：2022-05-19
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明提供一种光伏印刷网版的栅线提取方法及系统，包括：利用矩形和六边形的结构元素对图片进行灰度值闭运算，得到粗栅区域1和粗栅区域2；提取竖直型栅线区域。对粗栅区域1进行开运算得到竖直型栅线1；提取波浪型栅线。利用通过阈值分割得到的粗栅区域3和竖直型栅线进行差分运算得到波浪型栅线，并利用骨架抽取对波浪型栅线进行整形；提取图案栅线。利用粗栅区域2对竖直栅线1和波浪栅线2进行差分操作准确的提取图案栅线1。将分块提取的三种栅线进行组合得到网版的栅线。本发明实施例能够精确、快速的提取网版中的竖直型栅线、波浪型栅线和图案型栅线，提升了网版提升效率。
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公开(公告)号：CN112557345A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011372129.7
申请日：2020-11-30
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开一种物体成分均匀性的测定装置，属于光学与晶体学领域，其包括激光源、扩束镜、波片、聚焦物镜、棱镜、载物台组件、位移平台、偏光显微镜、带通滤波片、物镜和滤光镜筒，扩束镜设置在激光光源的出射方向上，聚焦物镜设置在扩束镜出射光方向上，波片设置在扩束镜和聚焦物镜之间，棱镜设置在聚焦物镜出射光方向上，棱镜的底面用于设置待测样品，棱镜的顶面上悬置有偏光显微镜，聚焦物镜出射光对准棱镜的一个侧面，物镜镜头对准棱镜的另一个侧面，滤光镜筒设置在物镜的出射光方向上，滤光镜筒内设置有可调针孔和偏振片，在滤光镜筒和物镜之间设置有带通滤波片，待测样品设置在载物台组件上。本发明装置能够精确、简单地判定样品的成分。
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公开(公告)号：CN110369859B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201910648605.4
申请日：2019-07-18
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开一种飞秒激光闭环加工系统及方法，属于飞秒激光加工领域。系统包括飞秒加工系统、飞秒测距系统、三维运动平台和处理器。加工系统和测距系统共用部分元器件。飞秒加工系统包括飞秒激光器、光隔离器、第一分束器和显微物镜。飞秒测距系统包括飞秒激光器、光隔离器、第一、二分束器、显微物镜、第一、二参考臂、耦合透镜、F‑P滤波器和光谱仪。被加工的物体放置在三维运动平台上，由处理器控制运动平台的运动、分析飞秒测距系统中光谱仪获取的信息，从而获得物体加工点的高度信息，进而反馈至飞秒加工系统，由此形成闭环控制。本发明还提供了相应的加工方法。本发明系统和方法可以实现对工件的高精度在线反馈加工。
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