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公开(公告)号：CN114354649B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202111634362.2
申请日：2021-12-29
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明提供了一种CMP垫的金属微粒缺陷的检测装置及方法，属于CMP垫内部缺陷的检测领域，方法包括：对CMP垫进行背向照明，使用机器视觉成像系统对CMP垫进行扫描成像；对扫描图像进行灰度值的底帽变换；对传统OSTU法获取预设前景灰度百分比进行改造，计算灰度阈值；对预处理后的扫描图像进行自动阈值分割；将分割完成之后的区域进行连通；将连通域中存在缺陷的特征区域进行图像坐标提取；采用张正友角点标定法，对机器视觉系统图像坐标系与X射线成像系统的图像坐标系进行坐标转换获取X射线成像的图像坐标；采用X射线成像方法，对金属微粒缺陷成像核实。本发明检测范围、检测精度和检测效率均得到了极大的提升。
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公开(公告)号：CN117078903A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311043907.1
申请日：2023-08-17
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开一种基于点云拟合的深微孔点云拼接方法和系统，属于点云处理领域。包括：获取深微孔两个子区域的实测三维点云数据；利用实测子区域三维点云数据，识别出深微孔曲面类型；按照曲面类型，确定曲面标准方程，其几何参数待定；分别将实测两个子区域点云数据按照曲面标准方程进行曲面拟合，得到两个标准方程几何参数确定的拟合曲面；分别提取两个拟合曲面的轴线向量，计算与点云测量坐标系中Z轴对齐的旋转矩阵；将各旋转矩阵与对应实测子区域三维点云数据点乘，得到深微孔点云拼接结果。本发明首次提出分别拟合两次实测点云数据，将两个拟合曲面通过旋转矩阵转换到同一坐标系，实现拼接目的。不仅适用于简单曲面，也能拟合复杂曲面。
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公开(公告)号：CN114858083B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202210544594.7
申请日：2022-05-19
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明提供了一种光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置及方法，属于扫描测量领域，方法为：将入射光分成第一子光束和第二子光束；在二维振镜系统中添加电压控制信号，使第一子光束到达待测小孔区域，通过调节准直器和场镜的搭配，调节第一子光束的光斑大小和准直距离，对待测小孔区域进行扫描，经反射形成反射光；将第二子光束反射形成参考光；反射光与参考光发生干涉，对干涉信号进行光谱分析后依次进行傅里叶变换和寻峰处理，获取小孔的深度信息和小孔底部的表面形貌信息。本发明提供的光学无接触式扫描大深径比小孔的测量装置可以测量孔径大于或等于300μm，同时深度小于或等于2.3cm，深径比达到75以下的底部形貌信息。
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公开(公告)号：CN112557345B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202011372129.7
申请日：2020-11-30
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开一种物体成分均匀性的测定装置，属于光学与晶体学领域，其包括激光源、扩束镜、波片、聚焦物镜、棱镜、载物台组件、位移平台、偏光显微镜、带通滤波片、物镜和滤光镜筒，扩束镜设置在激光光源的出射方向上，聚焦物镜设置在扩束镜出射光方向上，波片设置在扩束镜和聚焦物镜之间，棱镜设置在聚焦物镜出射光方向上，棱镜的底面用于设置待测样品，棱镜的顶面上悬置有偏光显微镜，聚焦物镜出射光对准棱镜的一个侧面，物镜镜头对准棱镜的另一个侧面，滤光镜筒设置在物镜的出射光方向上，滤光镜筒内设置有可调针孔和偏振片，在滤光镜筒和物镜之间设置有带通滤波片，待测样品设置在载物台组件上。本发明装置能够精确、简单地判定样品的成分。
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公开(公告)号：CN112731344A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011517749.5
申请日：2020-12-21
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的放大型面阵扫频测距/厚的装置，涉及激光扫频测距领域，包括第一、二二向色镜、分束器、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件，第一二向色镜的透射光方向上设分束器，分束器反射光方向上设载物台，载物台和分束器之间设镜头，分束器有四个端口，第一端口正对第一二向色镜，第二端口正对镜头，第三端口正对可运动反射器件，第四端口正对第二二向色镜，第二二向色镜透射光方向上设置相机，相机与采集控制单元相连，第二二向色镜反射光方向上设光谱仪，光谱仪连通采集控制单元，采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。
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公开(公告)号：CN110376596A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910648603.5
申请日：2019-07-18
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种物体表面三维坐标测量系统以及测量方法，属于激光测距领域，其包括激光测距装置、二维位移平台以及处理器，测距装置包括光源、光隔离器、F-P滤波器、光谱仪、第一、二耦合器、第一、二参考臂和测量臂，第一、二参考臂间具有固定的光程差，光隔离器设置在光源出射光方向上，光谱仪连接处理器，处理器用于对测量臂、第一参考臂和第二参考臂返回的激光之间的干涉信号进行分析处理，以获得待测物体在Z轴方向的深度，同时还用于结合二维位移平台反应的待测物体在XY平面坐标生成待测物体三维坐标。本发明还提供物体表面三维坐标测量方法。本发明方法和装置结构简单，价格低廉，还解决了死区问题，还能进行高精度和大幅面测量。
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公开(公告)号：CN110369859A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910648605.4
申请日：2019-07-18
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开一种飞秒激光闭环加工系统及方法，属于飞秒激光加工领域。系统包括飞秒加工系统、飞秒测距系统、三维运动平台和处理器。加工系统和测距系统共用部分元器件。飞秒加工系统包括飞秒激光器、光隔离器、第一分束器和显微物镜。飞秒测距系统包括飞秒激光器、光隔离器、第一、二分束器、显微物镜、第一、二参考臂、耦合透镜、F-P滤波器和光谱仪。被加工的物体放置在三维运动平台上，由处理器控制运动平台的运动、分析飞秒测距系统中光谱仪获取的信息，从而获得物体加工点的高度信息，进而反馈至飞秒加工系统，由此形成闭环控制。本发明还提供了相应的加工方法。本发明系统和方法可以实现对工件的高精度在线反馈加工。
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公开(公告)号：CN109425409B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201810849689.3
申请日：2018-07-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01F23/292
摘要： 本发明公开了一种高区分度的光电式液位测量装置，属于光电检测技术领域，其包括导光板、光源和斜耦合透镜，光源为激光，导光板用于与待测量液位的液体相面接触或者相邻设置，导光板为实心整体，能透光，导光板液位面用于与待测量液位的液体相面接触或者相邻设置，且待测液体液位线落于导光板液位面内，导光板采光面处设置有导光微结构，导光微结构对光束具有较强散射作用，且能有效破坏光在导光板采光面的全反射，导光板入射面用于供激光光源入射进导光板，导光板出射面处具有吸光性能或者设置有透光结构，斜耦合透镜用于使激光光源以设定的角度入射至导光板内。本发明测量装置结构简单，过程区分明显，元器件价格低廉，测量精确可靠，维护方便。
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公开(公告)号：CN108827915A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810849568.9
申请日：2018-07-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/43
摘要： 本发明公开了一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法，属于测量与光学领域，包括如下步骤：S1取临界角对应的像素位置前后各m个像素，一共为(2m+1)个像素，采集该(2m+1)个像素对应的反射率，以作为拟合数据，S2采用菲涅尔反射率公式，对步骤S1获取的拟合数据进行菲涅尔反射率拟合，得到菲涅尔拟合函数，S3对步骤S2获得的菲涅尔拟合函数求导，导函数的峰值点即为临界角对应的亚像素位置。本发明提供了一种基于光电传感阵列测量折射率的亚像素位置获取方法，其充分利用了阵列器件测量折射率的自动化、快速的特点，同时提高了折射率测量的精度。
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公开(公告)号：CN108732132A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810849972.6
申请日：2018-07-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N21/41
摘要： 本发明公开了一种基于光电传感阵列测量折射率过程中数据处理方法，属于测量与光学领域，其包括如下步骤：S1光电传感阵列器件探测得到光强数据，根据光强数据计算获得临界角对应的像素，S2提取临界角对应的像素及该像素前后各一个像素，一共获得三个像素的信息，所述信息包括光强信息和坐标信息，计算获得该三个像素对应的反射率微分值；S3三个点能唯一确定一条抛物线，得到抛物线公式；S4对抛物线公式求导，导函数为0处即为抛物线峰值处，该峰值处对应为亚像素位置处。本发明方法结合了阵列器件测量折射率的自动化、快速的特点，同时提高了折射率测量的精度。
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