一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂
摘要:
本发明公开了一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂,其特征在于,包括第一夹持手、第二夹持手、第一夹持臂、第二夹持臂、安装底座、气缸安装座、驱动气缸、驱动机构,所述驱动机构安装于所述安装底座上,所述驱动气缸安装于气缸安装座上,所述第一夹持手安装于所述第一夹持臂的一端,所述第二夹持手安装于所述第二夹持臂的一端。本发明配备对称的U型夹持手,在驱动机构的驱动下做开合动作,进行晶圆盒的夹取动作,针对不同的晶圆盒的尺寸对应调整夹持手的开合间距,保证了夹持动作的完整性与稳定性。
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