发明授权
- 专利标题: 一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂
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申请号: CN202011636191.2申请日: 2020-12-31
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公开(公告)号: CN112757259B公开(公告)日: 2022-12-20
- 发明人: 邓信甫 , 陈佳炜 , 徐铭 , 李志锋 , 刘大威
- 申请人: 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市闵行区紫海路170号;
- 专利权人: 上海至纯洁净系统科技股份有限公司,至微半导体(上海)有限公司
- 当前专利权人: 上海至纯洁净系统科技股份有限公司,至微半导体(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区紫海路170号;
- 代理机构: 上海智力专利商标事务所
- 代理商 孙金金; 周涛
- 主分类号: B25J9/00
- IPC分类号: B25J9/00 ; B25J15/00 ; H01L21/67 ; H01L21/677
摘要:
本发明公开了一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂,其特征在于,包括第一夹持手、第二夹持手、第一夹持臂、第二夹持臂、安装底座、气缸安装座、驱动气缸、驱动机构,所述驱动机构安装于所述安装底座上,所述驱动气缸安装于气缸安装座上,所述第一夹持手安装于所述第一夹持臂的一端,所述第二夹持手安装于所述第二夹持臂的一端。本发明配备对称的U型夹持手,在驱动机构的驱动下做开合动作,进行晶圆盒的夹取动作,针对不同的晶圆盒的尺寸对应调整夹持手的开合间距,保证了夹持动作的完整性与稳定性。
公开/授权文献
- CN112757259A 一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂 公开/授权日:2021-05-07