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公开(公告)号：CN110993544B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201911089186.1
申请日：2019-11-08
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本发明公开了一种避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座及晶圆升降装置，所述晶圆安装座包括基座和夹持板，所述夹持板扣合在基座的两侧并通过紧固件与基座锁紧固定，所述夹持板的上端部设置有齿沟结构，齿沟结构上的每个齿均具有齿背、齿前、以及齿背与齿前相交处形成的齿尖。本发明结构简单、使用方便，通过在夹持板上设置特殊的齿沟结构，能够避免移动晶圆过程中晶圆发生晃动或偏移，大大地降低了晶圆的破损率，避免破损晶圆污染其他未破损的晶圆或污染生产线设备，降低了企业生产成本。
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公开(公告)号：CN112768377A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011631866.4
申请日：2020-12-31
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明涉及晶圆干燥领域，公开了一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构，其技术方案要点是包括外槽体和内槽体，外槽体内侧壁与内槽体外侧壁之间设置有集液槽体，通过在集液槽体内设置的防溅区能够阻挡液体在导向集液槽体内时产生的飞溅，通过设置的导流部能够将液体导向集液槽体内，通过设置的集流部能够将液体集中导向集液槽体底壁面上，通过设置的动力组件能够带动第二防溅板与第三防溅板向相反方向翻转，此时操作能够清洗集液槽体，通过设置的排液部能够将出水孔内的液体排出，从而实现收集并排出机械臂上溢流出来的液体，避免溢流造成干燥后的晶圆被二次污染。
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公开(公告)号：CN112691532A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011607962.5
申请日：2020-12-30
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于湿法设备的高速排气机构，涉及一种排气机构，包括设备壳体，还包括抽气装置、导流板、分流板、挡片和排气盒，其中，设备壳体内设有一工艺区，设备壳体的上端设有第一进气口和第二进气口，第一进气口的一侧以及第二进气口的一侧分别设有一导流板，两导流板相正对，工艺区的一侧的上端设有分流板，工艺区的另一侧设有排气盒，抽气装置连接排气盒，工艺区的上侧设有一挡片，挡片与工艺区的另一侧之间形成一缓冲区，且缓冲区连通排气盒，工艺区的上表面开设有一吸入槽，且挡片的一端伸入吸入槽内。本发明中，能够有效的将工艺区散出的不纯净的气体排出，可以避免工艺区散出的气体扩散污染纯净的空气。
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公开(公告)号：CN112768391B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202011636137.8
申请日：2020-12-31
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67 , B25J9/00 , B25J15/00
摘要： 本发明公开了一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，包括横向移动机构、升降机构、夹持机构及机架，所述横向移动机构与所述升降机构均安装于机架上；所述横向移动机构包括旋转气缸、驱动齿轮、从动齿轮，所述旋转气缸安装于所述机架上，所述旋转气缸的输出端连接所述驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述从动齿轮通过传送带连接，晶圆清洗设备的各个工艺区通过一齿条连接，所述从动齿轮与所述齿条啮合连接；所述升降机构包括升降气缸，所述升降气缸安装于所述机架上，所述升降机构的输出端连接所述夹持机构。本发明配备对称的U型夹持手，在驱动机构的驱动下做开合动作，针对不同的晶圆盒的尺寸对应调整夹持手的开合间距，保证了夹持动作的完整性与稳定性。
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公开(公告)号：CN110957251B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN201911142936.7
申请日：2019-11-20
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种计量晶圆片数的短行程升降装置，包括：支撑结构，计数机构，所述计数机构放置于支撑结构的腔室内，所述计数机构包括第一固定板，所述第一固定板上固定有至少两个对称设置的U型固定夹板，所述U型固定夹板上固定有计数传感器盒，所述计数传感器盒内固定有计数传感器组；升降机构，所述升降机构的一端固定于支撑结构腔室内，另一端固定于计数机构上，以使所述计数机构在支撑结构腔室内进行上下运动。根据本发明，而且通过设置升降的晶圆计数器进行随时对批量式的晶圆计数，计数的结果更准确，而且该装置可固定在水平移动机构或者垂直运动上来实现多方位的运动，可以和晶圆片与托篮装载、卸载更紧密的配合。
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公开(公告)号：CN112768391A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202011636137.8
申请日：2020-12-31
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67 , B25J9/00 , B25J15/00
摘要： 本发明公开了一种晶圆盒联动侦测机械夹持装置，包括横向移动机构、升降机构、夹持机构及机架，所述横向移动机构与所述升降机构均安装于机架上；所述横向移动机构包括旋转气缸、驱动齿轮、从动齿轮，所述旋转气缸安装于所述机架上，所述旋转气缸的输出端连接所述驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述从动齿轮通过传送带连接，晶圆清洗设备的各个工艺区通过一齿条连接，所述从动齿轮与所述齿条啮合连接；所述升降机构包括升降气缸，所述升降气缸安装于所述机架上，所述升降机构的输出端连接所述夹持机构。本发明配备对称的U型夹持手，在驱动机构的驱动下做开合动作，针对不同的晶圆盒的尺寸对应调整夹持手的开合间距，保证了夹持动作的完整性与稳定性。
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公开(公告)号：CN112717478A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011611009.8
申请日：2020-12-30
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种酸洗槽去除气泡装置，涉及到去气泡技术领域，包括帮浦、酸液过滤器、分流管路、导流结构和破气泡结构，其中，酸液过滤器位于帮浦的上侧，且帮浦连接酸液过滤器，酸液过滤器的出液口连接分流管路；分流管路包括第一管路和第二管路，第一管路的一端与出液口连接，第一管路的另一端与第二管路的一端连接，其中，第二管路的一端内壁上设有一液体回流面和设于液体回流面下侧的破气泡结构，第二管路的一端内壁上还设有一导流结构，导流结构与破气泡结构相正对。其利用简易的分流管路与帮浦的推动力作用，即可产生将液泡分离的作用，达成在输送各种溶剂或是混合溶液至晶圆湿法工艺区移除气泡的具体作用。
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公开(公告)号：CN112768377B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202011631866.4
申请日：2020-12-31
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明涉及晶圆干燥领域，公开了一种有效解决晶圆干燥颗粒数干燥后二次污染的结构，其技术方案要点是包括外槽体和内槽体，外槽体内侧壁与内槽体外侧壁之间设置有集液槽体，通过在集液槽体内设置的防溅区能够阻挡液体在导向集液槽体内时产生的飞溅，通过设置的导流部能够将液体导向集液槽体内，通过设置的集流部能够将液体集中导向集液槽体底壁面上，通过设置的动力组件能够带动第二防溅板与第三防溅板向相反方向翻转，此时操作能够清洗集液槽体，通过设置的排液部能够将出水孔内的液体排出，从而实现收集并排出机械臂上溢流出来的液体，避免溢流造成干燥后的晶圆被二次污染。
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公开(公告)号：CN112757259B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202011636191.2
申请日：2020-12-31
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： B25J9/00 , B25J15/00 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种联动侦测晶圆盒传递机械夹持手臂，其特征在于，包括第一夹持手、第二夹持手、第一夹持臂、第二夹持臂、安装底座、气缸安装座、驱动气缸、驱动机构，所述驱动机构安装于所述安装底座上，所述驱动气缸安装于气缸安装座上，所述第一夹持手安装于所述第一夹持臂的一端，所述第二夹持手安装于所述第二夹持臂的一端。本发明配备对称的U型夹持手，在驱动机构的驱动下做开合动作，进行晶圆盒的夹取动作，针对不同的晶圆盒的尺寸对应调整夹持手的开合间距，保证了夹持动作的完整性与稳定性。
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公开(公告)号：CN112820663B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN201911118915.1
申请日：2019-11-15
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种自动复位的对开型晶圆盒托架，包括设于联动传送机构上的托架支撑板，具有对称结构的左托臂和右托臂，以及设于托架支撑板上且驱动所述左托臂和右托臂水平开合的开合驱动机构，所述左托臂的内边缘和所述右托臂的内边缘分别具有定位沟槽，所述左托臂的定位沟槽和所述右托臂的定位沟槽彼此结构对称，所述定位沟槽为台阶结构，其三个槽壁均为倾斜面。本发明采用对开的结构形式提高了托架使用范围的适用性，并且还能够将晶圆盒的托耳自动复位在托架上，具有正确、有效抱持晶圆盒以避免晶圆盒放置位置发生偏移的优点。
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