异常检测装置、异常检测方法以及程序
摘要:
本发明提供一种能与工具等的个体差异所引起的不均对应的异常检测装置、异常检测方法以及程序。异常检测装置具备:初始阶段检测信息获取部,获取使用一个工具进行的一系列的加工工序中的初始阶段的检测信息;映射函数确定部,确定用于使初始阶段的检测信息映射至基准检测信息的映射函数;磨损发展阶段检测信息获取部,获取一系列的加工工序中的初始阶段的后续的磨损发展阶段的检测信息;映射函数应用部,对磨损发展阶段的检测信息应用映射函数;异常度计算部,计算表示应用了映射函数的磨损发展阶段的检测信息相对于基准检测信息的不同的程度的异常度;异常检测部,通过判定异常度是否超过事先决定的异常判定阈值来进行工具的异常检测。
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