发明公开
- 专利标题： 具有布置在微机电结构的腔中的功能元件的微机电结构
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申请号： CN201980068372.9申请日： 2019-10-04
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公开(公告)号： CN112888654A公开(公告)日： 2021-06-01
- 发明人: S·马约尼 , M·库恩克 , P·魏尔
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 侯鸣慧
- 优先权： 102018217894.1 20181018 DE
- 国际申请： PCT/EP2019/076907 2019.10.04
- 国际公布： WO2020/078739 DE 2020.04.23
- 进入国家日期： 2021-04-16
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00
摘要：
本发明涉及一种微机电结构(1)，具有布置在所述微机电结构(1)的腔(2)中的功能元件(3)，其中，所述功能元件(3)具有氮化铝层(4)，其特征在于，所述腔(2)通过罩层(5)封闭，其中，所述罩层(5)具有外延硅。此外，提出一种用于制造微机械结构(1)的方法。
公开/授权文献
- CN112888654B 具有布置在微机电结构的腔中的功能元件的微机电结构 公开/授权日：2024-02-13
