发明公开
- 专利标题: 一种晶圆级层压塑封圆片的裁切成型方法
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申请号: CN202110375994.5申请日: 2021-04-08
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公开(公告)号: CN112908871A公开(公告)日: 2021-06-04
- 发明人: 陈海杰 , 徐立 , 潘浩 , 朱友义 , 陈栋 , 陈锦辉
- 申请人: 江阴长电先进封装有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市江阴市高新技术产业开发园区(澄江东路99号)
- 专利权人: 江阴长电先进封装有限公司
- 当前专利权人: 江阴长电先进封装有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市江阴市高新技术产业开发园区(澄江东路99号)
- 代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理商 赵华
- 主分类号: H01L21/56
- IPC分类号: H01L21/56 ; H01L21/304
摘要:
本发明涉及一种晶圆级层压塑封圆片的裁切成型方法,属于半导体封装的治具技术领域。其裁切平台包括裁切刀组(50)、底盘(70)、旋转电机(80)和膜屑抽吸系统(90),底盘(70)通过真空吸住塑封圆片(20),其裁切刀组(50)的裁刀Ⅰ(51)、裁刀Ⅱ(52)、裁刀Ⅲ(53)、裁刀Ⅳ(54)和锉刀(58)对塑封圆片(20)依次作业,完成对塑封圆片(20)的边缘修整及其对位缺口(13)的修整。本发明对完成层压工艺的塑封圆片的边缘进行修整和约束,形成标准圆片的形貌。
IPC分类: