一种晶圆级层压塑封圆片的裁切成型方法
摘要:
本发明涉及一种晶圆级层压塑封圆片的裁切成型方法,属于半导体封装的治具技术领域。其裁切平台包括裁切刀组(50)、底盘(70)、旋转电机(80)和膜屑抽吸系统(90),底盘(70)通过真空吸住塑封圆片(20),其裁切刀组(50)的裁刀Ⅰ(51)、裁刀Ⅱ(52)、裁刀Ⅲ(53)、裁刀Ⅳ(54)和锉刀(58)对塑封圆片(20)依次作业,完成对塑封圆片(20)的边缘修整及其对位缺口(13)的修整。本发明对完成层压工艺的塑封圆片的边缘进行修整和约束,形成标准圆片的形貌。
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