本发明提供一种难熔高熵合金表面抗氧化涂层的制备方法，包括以下步骤：a.对采用熔炼或烧结法制备的难熔高熵合金进行表面预处理；b.在氩气或氮气等保护性气氛下，对预处理后合金试样进行包埋渗处理，渗剂组成为Si、Al、B、稀土氧化物、催化剂和填充剂，渗层制备温度为1150～1350℃，保温时间为4～15h。本发明通过被渗元素的扩散渗入+原位反应实现在难熔高熵合金表面制备多元硅化物涂层，该涂层可有效为难熔高熵合金提供1450℃下的高温防护，且涂层制备工艺简单可控、成本低廉，对具有复杂形状的实际工件也具有可操作性。