一种石墨舟片，设有硅片覆盖区，所述硅片覆盖区设有多个长条形通孔，所述通孔的宽度≤16mm，由此，可使硅片与石墨舟片贴合紧密，同时产生更均匀的电场，可有效解决管式PECVD/PEALD在N型硅片上镀膜均匀性问题且兼顾解决背面绕镀问题，解决了当前管式设备针对N型硅片镀膜，如氧化铝以及隧穿氧化层钝化接触TOPCON电池背面镀氧化硅的质量问题。尤其是目前光伏行业往大硅片的方向发展，更突显了镀膜均匀性和质量的重要性，为高效大硅片电池的发展铺平道路。