发明授权
- 专利标题： 一种钛钨蚀刻液及其制备方法和应用
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申请号： CN202110203281.0申请日： 2021-02-23
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公开(公告)号： CN112981405B公开(公告)日： 2022-11-15
- 发明人: 顾群艳 , 梁豹 , 杜冰 , 邱柱 , 赵建龙 , 张兵 , 向文胜 , 朱坤
- 申请人： 江苏艾森半导体材料股份有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号
- 专利权人： 江苏艾森半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人： 江苏艾森半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号
- 代理机构： 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 巩克栋
- 主分类号： C23F1/26
- IPC分类号： C23F1/26 ; H01L21/3213 ; H01L21/768
摘要：
本发明提供了一种钛钨蚀刻液及其制备方法和应用，所述钛钨蚀刻液以重量份数计包括过氧化氢15‑30份、金属络合剂0.1‑20份、过氧化氢稳定剂0.1‑10份、pH调节剂0.1‑20份和水。本发明提供的钛钨蚀刻液蚀刻效果好，对底材无腐蚀，稳定性好，使用寿命长。
公开/授权文献
- CN112981405A 一种钛钨蚀刻液及其制备方法和应用 公开/授权日：2021-06-18
IPC分类:
