本申请涉及电子器件可靠性技术领域，具体公开一种电子材料中α源的识别方法、装置及可读存储介质。方法包括构建α粒子发射能谱数据库；测量目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱；对测量得到的目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱，及α粒子发射能谱数据库中的α粒子发射能谱网格化处理；将网格化处理后的目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱与网格化处理后的数据库中的α粒子发射能谱逐个比对得到匹配结果；根据匹配结果识别目标电子材料样品中的α源。即可从数据库中匹配出与目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱最接近的能谱，以该能谱在数据库中所对应的α源作为目标电子材料样品中α源的识别结果，识别准确性较高，效率较高。