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公开(公告)号:CN113568031A
公开(公告)日:2021-10-29
申请号:CN202110654904.6
申请日:2021-06-11
IPC分类号: G01T1/36
摘要: 本发明涉及电子器件可靠性技术领域,公开了一种α粒子发射率测试方法,包括获取测试样品;对测试设备的背底噪声进行调试,使得测试设备的α粒子发射率小于设定值;利用完成调试的测试设备对测试样品进行α粒子发射率测试,并对测试到的α粒子进行计数;当α粒子的计数达到目标计数时结束测试,并获取测试数据;对测试数据进行分析和处理。通过在对测试过程前通过背底噪声调试来降低环境噪声和设备自身发射α粒子本底对测试结果的影响,在测试完成后通过数据分析来进一步确定超低本底电子材料的测试样品的实际α粒子发射率。利用上述α粒子发射率测试方法可以实现对超低本底电子材料的测试样品α粒子发射率、能谱的准确测量,提高试验准确度。
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公开(公告)号:CN113077850A
公开(公告)日:2021-07-06
申请号:CN202110278942.6
申请日:2021-03-16
摘要: 本申请涉及电子器件可靠性技术领域,具体公开一种电子材料中α源的识别方法、装置及可读存储介质。方法包括构建α粒子发射能谱数据库;测量目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱;对测量得到的目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱,及α粒子发射能谱数据库中的α粒子发射能谱网格化处理;将网格化处理后的目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱与网格化处理后的数据库中的α粒子发射能谱逐个比对得到匹配结果;根据匹配结果识别目标电子材料样品中的α源。即可从数据库中匹配出与目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱最接近的能谱,以该能谱在数据库中所对应的α源作为目标电子材料样品中α源的识别结果,识别准确性较高,效率较高。
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公开(公告)号:CN113484894B
公开(公告)日:2024-01-05
申请号:CN202110654439.6
申请日:2021-06-11
IPC分类号: G01T1/16
摘要: 本发明涉及电子器件可靠性技术领域,公开了一种α粒子发射率测量方法,包括对粉末样品进行定型制样;分别对样品托盘和空的样品容器进行α粒子发射率背底测试,获得所述样品托盘的α粒子发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率;对装满所述粉末样品的样品容器进行α粒子发射率测试,根据所述样品托盘的发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率,获得所述粉末样品的α粒子发射率。通过根据实验需求对粉末样品进行定型和防沾污制样,来解决粉末样品存在形状不固定、容易被电离室气体吹起、容易污染托盘等问题。所述方法排除了试验设备对测试结果的干扰,解决了粉末样品α粒子发射率测试难题的同时还提高了试验准确度。
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公开(公告)号:CN113077850B
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN202110278942.6
申请日:2021-03-16
摘要: 本申请涉及电子器件可靠性技术领域,具体公开一种电子材料中α源的识别方法、装置及可读存储介质。方法包括构建α粒子发射能谱数据库;测量目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱;对测量得到的目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱,及α粒子发射能谱数据库中的α粒子发射能谱网格化处理;将网格化处理后的目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱与网格化处理后的数据库中的α粒子发射能谱逐个比对得到匹配结果;根据匹配结果识别目标电子材料样品中的α源。即可从数据库中匹配出与目标电子材料样品表面的α粒子发射能谱最接近的能谱,以该能谱在数据库中所对应的α源作为目标电子材料样品中α源的识别结果,识别准确性较高,效率较高。
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公开(公告)号:CN113568031B
公开(公告)日:2023-11-03
申请号:CN202110654904.6
申请日:2021-06-11
IPC分类号: G01T1/36
摘要: 本发明涉及电子器件可靠性技术领域,公开了一种α粒子发射率测试方法,包括获取测试样品;对测试设备的背底噪声进行调试,使得测试设备的α粒子发射率小于设定值;利用完成调试的测试设备对测试样品进行α粒子发射率测试,并对测试到的α粒子进行计数;当α粒子的计数达到目标计数时结束测试,并获取测试数据;对测试数据进行分析和处理。通过在对测试过程前通过背底噪声调试来降低环境噪声和设备自身发射α粒子本底对测试结果的影响,在测试完成后通过数据分析来进一步确定超低本底电子材料的测试样品的实际α粒子发射率。利用上述α粒子发射率测试方法可以实现对超低本底电子材料的测试样品α粒子发射率、能谱的准确测量,提高试验准确度。
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公开(公告)号:CN113484894A
公开(公告)日:2021-10-08
申请号:CN202110654439.6
申请日:2021-06-11
IPC分类号: G01T1/16
摘要: 本发明涉及电子器件可靠性技术领域,公开了一种α粒子发射率测量方法,包括对粉末样品进行定型制样;分别对样品托盘和空的样品容器进行α粒子发射率背底测试,获得所述样品托盘的α粒子发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率;对装满所述粉末样品的样品容器进行α粒子发射率测试,根据所述样品托盘的发射率和空的所述样品容器的α粒子发射率,获得所述粉末样品的α粒子发射率。通过根据实验需求对粉末样品进行定型和防沾污制样,来解决粉末样品存在形状不固定、容易被电离室气体吹起、容易污染托盘等问题。所述方法排除了试验设备对测试结果的干扰,解决了粉末样品α粒子发射率测试难题的同时还提高了试验准确度。
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