半导体装置及其阵列布局及包括其的封装结构
摘要:
本发明公开了一种半导体装置及其阵列布局及包括其的封装结构,其中,半导体装置包括一叠层以及多个存储器串行。叠层形成于一衬底上,叠层包括交替叠层的多个导电层及多个绝缘层。存储器串行沿着一第一方向穿过叠层,各个存储器串行包括一通道层、一存储器结构、一第一导电柱及一第二导电柱。通道层沿着第一方向延伸。存储器结构设置于叠层与通道层之间。第一导电柱及第二导电柱沿着第一方向延伸且彼此电性隔离,并分别耦接于通道层的一第一位置及一第二位置,第一位置相对于第二位置,其中存储器结构环绕第一位置而暴露第二位置。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件(其零部件入H01L23/00,H01L29/00至H01L51/00;由多个单个固态器件组成的组装件入H01L25/00)
H01L27/02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04 ..其衬底为半导体的
H01L27/10 ...在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105 ....包含场效应组件的
H01L27/112 .....只读存储器结构的
H01L27/115 ...... · · · · ·电动编程只读存储器;其多步骤制造方法
H01L27/11563 ....... · · · · · ·具有电荷俘获栅极绝缘层的,例如,MNOS,NROM
H01L27/11565 ........ · · · · · · ·以顶视图布局为特征的
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