发明公开
- 专利标题: 一种旋转靶材的绑定密封结构
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申请号: CN202110605681.4申请日: 2021-05-31
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公开(公告)号: CN113136555A公开(公告)日: 2021-07-20
- 发明人: 雷雨 , 周志宏 , 肖世洪 , 周昭宇 , 汪政军 , 刘芳
- 申请人: 广州市尤特新材料有限公司
- 申请人地址: 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
- 专利权人: 广州市尤特新材料有限公司
- 当前专利权人: 广州市尤特新材料有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号
- 代理机构: 广州永华专利代理有限公司
- 代理商 唐立辉
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34
摘要:
本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种旋转靶材的绑定密封结构。密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片,间隙垫片粘接上下两个靶管的端面,两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带,还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在金属片外的紧固层,金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周。该旋转靶材的绑定密封结构对多节靶管之间的间隙进行密封处理,减少间隙内的氧含量,使得金属铟在绑定过程中不容易在空气中氧化,提升铟与靶材/背管的贴合率。两节靶管外壁的高温胶带外还粘接了导热金属片,然后才在金属片外设置紧固层,该金属片为绑定密封结构提供支撑,以免靶管受热变型导致密封失效,增强了密封性能。
IPC分类: