一种氧化锌锡靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN118561591B

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202411045970.3

    申请日:2024-08-01

    摘要: 本发明属于半导体材料技术领域,本发明具体公开了一种氧化锌锡靶材及其制备方法,本发明首先将氧化锌、氧化锡、锌粉、锡粉混合均匀,在混合粉体中加入锌粉和锡粉,能够起到活化作用,有效的提高混合粉体的活性,提高整体的稳定性,促进晶粒更加细化,提高粉体的致密性;本发明分别将氧化锌晶须、石墨烯通过溶液的形式引入到混合粉体中,十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇、聚乙烯吡咯烷酮、羧甲基纤维素以及硫酸和磷酸能够更进一步提高体系的活性,提高混合粉体的可塑性,有效的抑制晶粒长大,促进形成更加致密和尺寸均匀的结构,降低孔隙率,提高载流子的迁移率,提升导电速度和效率,有效的提高靶材的导电性能。

    一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN118184311B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202410605416.X

    申请日:2024-05-16

    摘要: 本发明提供了一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用,包括以下步骤:(1)Ga2O3、ZnO、In2O3、氧化镧、氧化铈、氧化钕按原子比In:Ga:Zn:La:Ce:Nd=1:1:1:0.02:0.03:0.05混合,得到混合粉体;(2)将混合粉体、分散剂、粘结剂、消泡剂和去离子水加入球磨机中,球磨、喷雾干燥,得到造粒粉;(3)将造粒粉采用模压‑等静压成型方式,得到IGZO靶材素坯;(4)将IGZO靶材素坯进行烧结;(5)将炉内的温度降至900‑950℃后,随炉冷却,停止通入氧气,最后室温出炉,得到IGZO靶材。本发明制得的IGZO靶材透光率高,电学性能好,具有极高的市场价值。

    一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN118184311A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410605416.X

    申请日:2024-05-16

    摘要: 本发明提供了一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用,包括以下步骤:(1)Ga2O3、ZnO、In2O3、氧化镧、氧化铈、氧化钕按原子比In:Ga:Zn:La:Ce:Nd=1:1:1:0.02:0.03:0.05混合,得到混合粉体;(2)将混合粉体、分散剂、粘结剂、消泡剂和去离子水加入球磨机中,球磨、喷雾干燥,得到造粒粉;(3)将造粒粉采用模压‑等静压成型方式,得到IGZO靶材素坯;(4)将IGZO靶材素坯进行烧结;(5)将炉内的温度降至900‑950℃后,随炉冷却,停止通入氧气,最后室温出炉,得到IGZO靶材。本发明制得的IGZO靶材透光率高,电学性能好,具有极高的市场价值。

    一种具有高透明性的ITO靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN117902880A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202410309499.8

    申请日:2024-03-19

    摘要: 本发明涉及ITO靶材技术领域,具体公开了一种具有高透明性的ITO靶材,所述ITO靶材为氧化铟:氧化锡按照重量比99:1配比制成。本发明ITO靶材采用氧化铟、氧化锡配制制成,通过改性液超声改性浸润处理,改性液中的柠檬酸钠溶液、硅烷偶联剂、硝酸钇溶液和改性羟基磷灰石相互调配,共同优化靶材基体,同时采用的羟基磷灰石经过纳米硅溶胶、硬脂酸和硝酸镧溶液、纳米二氧化钛等原料共同球磨改进,从而得到的改性羟基磷灰石配合得到的改性液改进的靶材能够实现产品的透光性能、导电性的协调改进。

    一种提高碲化镉薄膜电子性能的掺杂方法

    公开(公告)号:CN117577745B

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202410064584.2

    申请日:2024-01-17

    摘要: 本发明属于半导体材料技术领域,本发明具体公开了一种提高碲化镉薄膜电子性能的掺杂方法,本发明创造性的将碲粉、镉粉、碲化镉粉进行共混,其中碲粉、镉粉能够作为活性剂,调整碲化镉粉末的活性并提高碲化镉粉末的致密度,而后将锌源、硒源与碳纳米管通过水热法的方法原位掺杂至碲化镉,改变碲化镉的能带结构,提高光吸收效率,并提高导电性能,提高载流子迁移率,进而显著提高光电性能。

    一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN113604778B

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202110757584.7

    申请日:2021-07-05

    发明人: 周志宏 雷雨 刘芳

    IPC分类号: C23C14/08 C23C14/34 H01L31/18

    摘要: 本发明公开了一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法,包括以下步骤:将锌盐和铝盐加入到第一溶剂中,分散均匀,配制成第一溶液;将草酸加入到第二溶剂中,分散均匀,配制成第二溶液;将第二溶液加入到第一溶液中,在水浴下混合均匀,得到浆料,在常温下挥发去除溶剂,静置,干燥,烧结,得到前驱体粉末;将前驱体粉末加入到去离子水中,分散均匀,置于超声波处理器中,超声处理,干燥,得到氧化锌铝粉体;将氧化锌铝粉末压制成型,得到坯块;将坯块烧结,得到靶材。由本发明所述的AZO靶材制备得到的薄膜应用于太阳能电池,具有良好的开路电压与短路电流,能够有效提高太阳能电池的光电转化效率。

    一种用于太阳能电池行业的FTO靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN117125974A

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202311394278.7

    申请日:2023-10-26

    摘要: 本发明公开了一种用于太阳能电池行业的FTO靶材的制备方法,包括以下步骤:S1、以氧化锡粉(SnO2)和氟化锡粉(SnF4)为原料,制备复合粉体;S2、以S1中复合粉体进行成型烧结,得到FTO靶材。本发明FTO靶材制备以氧化锡粉(SnO2)和氟化锡粉(SnF4)为原料经过S1中制备复合粉体具体步骤、以及S2中具体制备靶材的步骤形成的FTO靶材具有导电性和透光性相互协调改进,通过氧化锡粉中加入的石墨烯调节剂协调配合步骤c中二次煅烧后还浸入改性处理,通过二者协调改进,共同协效,产品的导电性和透光性的性能协调性进一步的改进。

    一种CTO靶材及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN116657106B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310914188.X

    申请日:2023-07-25

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/08

    摘要: 本发明公开了一种CTO靶材的制备方法,包括以下步骤:将铯钨青铜粉体基体加入到铯钨青铜粉体基体总量3‑5倍的羟基磷灰石改性液中调节改性,得到调节改性体,然后加入调节改性体总量5‑10%的晶须改性剂,球磨改性,最后热均化处理,得到CTO靶材。本发明CTO靶材采用铯钨青铜粉体基体配合羟基磷灰石改性液中调节改性,再配合晶须改性剂球磨改性,最后热均化处理,通过羟基磷灰石改性液、晶须改性剂之间的相互调配改性,共同协效,制备的CTO靶材在红外线阻隔率的性能与可见光透射率性能达到协调改进。

    一种电控变色玻璃用靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN114807876B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202210445945.9

    申请日:2022-04-26

    摘要: 本发明公开了一种电控变色玻璃用靶材,包括以下重量份的原料:90‑100份钨、1‑2份Mo、1‑1.5份Nb、0.5‑1.5份Ti、0.2‑0.8份Ta和稀土变性剂0.1‑0.3份。本发明靶材采用钨粉、Mo、Nb、Ti、Ta原料制成,经过配比制备的变色玻璃,变色均匀性好,变色时间快,通过加入的稀土变性剂,采用稀土镧、硅粉和B粉配合而成,稀土镧具有优异的活性能,提高原料的反应程度,而硅粉在反应中可提高产品原料的流动度,从而促进产品的反应效果,同时经过He离子辐照处理,然后预热改性处理,能够细化晶粒,从而提高稀土变性剂的原料在靶材中的均匀性。

    一种掺杂金属的AZO靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN116102346B

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310349156.X

    申请日:2023-04-04

    摘要: 本发明公开了一种掺杂金属的AZO靶材,所述AZO靶材包括氧化锌、氧化铝、改性ITO和协调共配剂;其中氧化锌、氧化铝、改性ITO和协调共配剂的物质质量比为(12‑14):(2‑4):(1‑3):(10‑12)。本发明AZO靶材采用氧化锌、氧化铝为基料,加入改性ITO作为协配剂,优化改进的协调共配剂能够改进体系中的氧化锌、氧化铝和改性ITO的分散度,提高产品在后续中烧结效率,从而进一步的改进产品的性能效果,通过改性ITO、协调共配剂的配合,二者协同增效,协调改进产品的性能效果。