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公开(公告)号：CN117902880B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410309499.8
申请日：2024-03-19
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
IPC分类号： C04B35/01 , C04B35/622 , C04B35/63 , C04B35/632 , C23C14/34
摘要： 本发明涉及ITO靶材技术领域，具体公开了一种具有高透明性的ITO靶材，所述ITO靶材为氧化铟：氧化锡按照重量比99:1配比制成。本发明ITO靶材采用氧化铟、氧化锡配制制成，通过改性液超声改性浸润处理，改性液中的柠檬酸钠溶液、硅烷偶联剂、硝酸钇溶液和改性羟基磷灰石相互调配，共同优化靶材基体，同时采用的羟基磷灰石经过纳米硅溶胶、硬脂酸和硝酸镧溶液、纳米二氧化钛等原料共同球磨改进，从而得到的改性羟基磷灰石配合得到的改性液改进的靶材能够实现产品的透光性能、导电性的协调改进。
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公开(公告)号：CN113174579B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202110605671.0
申请日：2021-05-31
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
摘要： 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种除氧化物的旋转靶材绑定方法、靶材绑定装置以及计算机可读存储介质。除氧化物的旋转靶材绑定方法将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，提拉硬质波纹片以刮擦背管外表面和/或靶管内表面，并且从背管与最底层靶管之间的间隙底部向上地往所述间隙内注入铟液，控制所述注入铟液的速度以使间隙内铟液的最高点低于硬质波纹片的最低点。该除氧化物的旋转靶材绑定方法自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，利用硬质波纹片的边角刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层或其他氧化物，提升铟与靶材/背管的贴合率。
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公开(公告)号：CN114990500B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202210445282.0
申请日：2022-04-26
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
摘要： 本发明属于靶材技术领域，本发明具体公开了一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法，所述的金黄色薄膜用靶材由以下重量份原料制备而成：0.08~0.3份金、0.15~0.35份铜、0.2~0.6份锡、0.5~1份镍、0.6~1.3份锌合金、90~98份钛。本发明所述的由钛为主的靶材，辅以金、铜、锡、镍、锌合金，在上述的重量份配比下，制备的靶材具有良好的耐磨性能，由其制备的薄膜呈现金黄色，本发明采取由铋粉氧化铈、氧化镧、钪粉、镁粉、铜粉、锌粉组成的锌合金能够显著提高靶材的耐磨性能，且不会影响到由其制备得到的薄膜的颜色。
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公开(公告)号：CN115058710A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210880430.1
申请日：2022-07-25
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
IPC分类号： C23C26/02
摘要： 本发明涉及旋转靶材超铟领域，具体涉及一种衬管超铟辅助设备。本发明提供一种衬管超铟辅助设备，包括用于固定待加工的衬管的固定机构，包括用于对衬管外侧进行加热的移动加热装置，移动加热装置边加热边沿衬管移动，露出已加热完的管段供进行涂铟操作。该衬管超铟辅助设备能够加热放入到其内的衬管，且在其加热衬管的过程中生产人员能够直接对衬管进行超铟操作，无需频繁搬运衬管，超铟过程较为省时，生产效率较高。
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公开(公告)号：CN114990500A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210445282.0
申请日：2022-04-26
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
摘要： 本发明属于靶材技术领域，本发明具体公开了一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法，所述的金黄色薄膜用靶材由以下重量份原料制备而成：0.08~0.3份金、0.15~0.35份铜、0.2~0.6份锡、0.5~1份镍、0.6~1.3份锌合金、90~98份钛。本发明所述的由钛为主的靶材，辅以金、铜、锡、镍、锌合金，在上述的重量份配比下，制备的靶材具有良好的耐磨性能，由其制备的薄膜呈现金黄色，本发明采取由铋粉氧化铈、氧化镧、钪粉、镁粉、铜粉、锌粉组成的锌合金能够显著提高靶材的耐磨性能，且不会影响到由其制备得到的薄膜的颜色。
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公开(公告)号：CN114956790A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210901392.3
申请日：2022-07-28
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
IPC分类号： C04B35/01 , C04B35/453 , C04B35/622 , C04B35/63 , C23C14/08
摘要： 本发明涉及TCO靶材技术领域，具体公开了一种近红外高透光的TCO靶材，其特征在于，所述TCO靶材由铟锡氧化物粉、改性羟基磷灰石、纳米二氧化硅协配剂按照重量比（7‑11）:（2‑4）:1混合配制而成。本发明TCO靶材采用铟锡氧化物粉、改性羟基磷灰石、纳米二氧化硅协配配合，通过改性羟基磷灰石优化改性，协配纳米二氧化硅，制备的靶材具有低密度、高效的透光性能以及强度性能；原料之间相互协配，共同组合制备的靶材相对于现有技术，可使透光、强度性能实现协调式改进效果。
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公开(公告)号：CN114057481B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202010755989.2
申请日：2020-07-31
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
IPC分类号： C23C14/34 , C04B35/453 , C04B35/622 , C04B35/626
摘要： 本发明提供了一种氧化锌靶材制备方法和氧化锌靶材，其中，氧化锌靶材制备方法包括：将氧化锌基材和掺杂材料通过球磨研磨，获取一段研磨浆料；对一段研磨浆料进行砂磨研磨，获取二段研磨浆料；对二段研磨浆料进行造粒，获取粒料；对粒料进行冷等静压，获取素坯；对素坯进行烧结，冷却后获取氧化锌靶材。本发明通过球磨研磨和砂磨研磨的组合使用，使得氧化锌基材和掺杂材料能够充分混合，同时进一步降低氧化锌基材和掺杂材料的粒径，通过降低氧化锌基材和掺杂材料的粒径，使得氧化锌颗粒之间、掺杂材料颗粒之间及氧化锌颗粒与掺杂材料颗粒之间的空隙减少，进而提高氧化锌靶材的致密度。
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公开(公告)号：CN114807876A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210445945.9
申请日：2022-04-26
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种电控变色玻璃用靶材，包括以下重量份的原料：90‑100份钨、1‑2份Mo、1‑1.5份Nb、0.5‑1.5份Ti、0.2‑0.8份Ta和稀土变性剂0.1‑0.3份。本发明靶材采用钨粉、Mo、Nb、Ti、Ta原料制成，经过配比制备的变色玻璃，变色均匀性好，变色时间快，通过加入的稀土变性剂，采用稀土镧、硅粉和B粉配合而成，稀土镧具有优异的活性能，提高原料的反应程度，而硅粉在反应中可提高产品原料的流动度，从而促进产品的反应效果，同时经过He离子辐照处理，然后预热改性处理，能够细化晶粒，从而提高稀土变性剂的原料在靶材中的均匀性。
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公开(公告)号：CN113211604A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110546190.7
申请日：2021-05-19
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
摘要： 本发明涉及旋转靶材加工领域，具体涉及一种制备旋转靶材生胚的冷等静压成型模具和一种制备旋转靶材生胚的冷等静压成型方法。本发明提供一种制备旋转靶材生胚的冷等静压成型模具，包括模具主体，模具主体包括刚性内模芯和软性外模，软性外模与刚性内模芯之间形成模腔以容置待成型粉料，成型模具包括设置在软性外模外侧的塑形件和驱动装置，该驱动装置驱动该塑形件往内侧移动至夹住所述软性外模以进行塑形。还提供一种制备旋转靶材生胚的冷等静压成型方法。该成型模具和成型方法能压制成型得到较为规则的旋转靶材生胚，生胚烧结后无需车削掉较多的靶材，生产效率高且减少原材料的浪费。
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公开(公告)号：CN113174578A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110605651.3
申请日：2021-05-31
申请人： 广州市尤特新材料有限公司
摘要： 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质。加热装置设有内加热结构和外加热结构：内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量，在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温；外加热结构为多节环状加热罩，各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材，外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部，外加热结构与安装底座一起构成全密封结构，将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作，使得背管内外温度处于预设差值范围内，如此则待绑定的靶管内外温度保持一致，减少外管靶材崩裂的几率。
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