本发明实施例可包含用于校正电子束工具的响应函数的方法、系统及设备。所述校正可包含：调制具有频率的电子束参数；基于所述电子束参数朝向样本发射电子束，由此将电子散射，其中所述电子束由具有源相位及着陆角度的源波函数描述；在电子检测器处检测所述经散射电子的一部分，由此产生包含具有电子相位及电子着陆角度的电子波函数的电子数据；使用处理器来确定所述源相位与所述电子相位之间的相位延迟，由此产生等待时间；及使用所述处理器，使用所述等待时间及所述源波函数与所述电子波函数之间的差来校正所述电子束工具的所述响应函数。