一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层及其制备方法和包含该涂层的制品
摘要:
本发明提供一种抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层的制备方法:基材在真空条件下预热;通入氮源、钛源和第二辅助气体,在预热后的基材表面上进行化学气相沉积,得到沉积涂层;其中,以5‑8℃/min的速率加热至沉积温度,沉积温度为1010‑1025℃,沉积时间为120‑720min,沉积压力为0.04‑0.08MPa;第二辅助气体的流量为1000‑2000sccm;氮源为气体源,流量为800‑1200sccm;对沉积涂层进行冷却,冷却具体为:停止通入钛源,降温至800‑900℃;当降温至800‑900℃时,停止通入氮源,继续降温;当降温至200‑400℃时,停止通入第二辅助气体,随后冷却至室温,得到抗腐蚀的氮化钛耐磨涂层。该涂层具有棱片状结构,可以显著增强氮化钛涂层的抗H2S腐蚀能力,增强涂层致密度与晶化程度。
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