发明授权
- 专利标题: 一种激光光点位置校正方法及设备
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申请号: CN202110715928.8申请日: 2021-06-28
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公开(公告)号: CN113245712B公开(公告)日: 2021-10-08
- 发明人: 孙丰 , 张宝峰 , 吴斌 , 刘斌
- 申请人: 苏州赛腾精密电子股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路4号
- 专利权人: 苏州赛腾精密电子股份有限公司
- 当前专利权人: 苏州赛腾精密电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路4号
- 代理机构: 南京中高专利代理有限公司
- 代理商 诸世跃
- 主分类号: B23K26/362
- IPC分类号: B23K26/362 ; B23K26/03 ; H01L21/67 ; H01L21/68
摘要:
本发明公开了一种激光光点位置校正方法及设备,其中方法包括:使标记头发出激光,在第一定位部上形成激光光斑;第一定位部固定在置放台上;获取激光光斑的重心坐标点;调整上相机的参数,使上相机的镜头中心点和激光光斑的重心坐标点重合;其中,标记头固定在激光标记装置中;上相机固定在第一定位部的上方,且上相机的镜头朝向第一定位部。标记头设置好参数以后,向第一定位部发出一束激光,在第一定位部形成一个光斑,上相机对其进行拍摄,获得激光光斑图像,通过调整上相机的参数,使上相机拍摄到激光光斑图像的视野中心点和激光光斑的重心坐标点重合,实现相机补偿,从而确保标记头的精度。
公开/授权文献
- CN113245712A 一种激光光点位置校正方法及芯片规模晶圆级标记设备 公开/授权日:2021-08-13
IPC分类: