发明授权
- 专利标题: 一种金刚石的加工设备
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申请号: CN202110524071.1申请日: 2021-05-13
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公开(公告)号: CN113265643B公开(公告)日: 2022-05-10
- 发明人: 余斌 , 余海粟 , 朱轶方 , 陆骁莹
- 申请人: 杭州超然金刚石有限公司
- 申请人地址: 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117
- 专利权人: 杭州超然金刚石有限公司
- 当前专利权人: 杭州超然金刚石有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区鸿兴路158号2号楼2-117
- 主分类号: C23C16/27
- IPC分类号: C23C16/27 ; C23C16/52
摘要:
本发明涉及金刚石技术领域,特别地,涉及一种金刚石的加工设备,包括气相沉积炉,以及设于气相沉积炉内的热丝机构,所述热丝机构包括承载架,以及若干设于承载架上的热丝,所述承载架包括平行设置的第一安装梁和第二安装梁,所述第一安装梁上设有若干供热丝绕过的卡夹,其中所述卡夹沿垂直于第一安装梁的长度方向滑动安装在第一安装梁上;所述第一安装梁与卡夹之间设有弹性件,通过所述弹性件使卡夹始终保持向第一安装梁外侧滑动的趋势;所述热丝机构还包括设于第一安装梁或卡夹上的检测件,当弹性件恢复初始位置时,检测件被触发,并向控制中心进行信号反馈。本发明可以在热丝被熔断时起到提醒效果。
公开/授权文献
- CN113265643A 一种金刚石的加工设备 公开/授权日:2021-08-17
IPC分类: