一种衬底处理系统包含：激光三角传感器，其被配置成通过衬底处理室的外壁的窗来传输和接收光。控制器被配置成：将所述激光三角传感器定位，使得所述激光三角传感器传输光至布置于衬底支撑件的第一表面和气体分配装置的第二表面之间的测量特征上，其中所述第二表面面对所述第一表面；以及当所述激光三角传感器传输光至所述测量特征上时，基于下列两者之间的差异来确定所述第一表面和所述第二表面之间的第一距离：使用所述激光三角传感器所测得的介于所述激光三角传感器与所述第一表面之间的第二距离；以及使用所述激光三角传感器所测得的介于所述激光三角传感器与所述第二表面之间的第三距离。