环栅器件及其源漏制备方法、器件制备方法、电子设备
摘要:
本发明提供了一种环栅器件及其源漏制备方法、器件制备方法、电子设备,其中,环栅器件的源漏制备方法,包括:在基底上形成鳍片,以及横跨所述鳍片的伪栅极单元,所述鳍片包括交替层叠的预备沟道层与预备牺牲层;所述伪栅极单元的数量为多个,多个所述伪栅极单元沿所述预备沟道层的沟道方向依次分布;刻蚀掉相邻两个伪栅极单元之间的预备牺牲层部分;对相邻两个伪栅极单元之间的预备沟道层部分进行刻蚀减薄,并保留部分沟道层材料作为种子层;基于所述种子层,外延源漏的锗硅体层,并在所述锗硅体层形成源极与漏极。
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