Invention Grant
- Patent Title: 用于使用交错脉冲照明源泵浦激光维持等离子体的系统及方法
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Application No.: CN202080012279.9Application Date: 2020-02-24
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Publication No.: CN113366610BPublication Date: 2022-09-27
- Inventor: I·贝泽尔 , M·德斯泰恩 , W·舒马克 , M·弗里德曼
- Applicant: 科磊股份有限公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 科磊股份有限公司
- Current Assignee: 科磊股份有限公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- Agent 刘丽楠
- Priority: 62/810,176 20190225 US 16/791,488 20200214 US
- International Application: PCT/US2020/019399 2020.02.24
- International Announcement: WO2020/176370 EN 2020.09.03
- Date entered country: 2021-08-03
- Main IPC: H01J61/02
- IPC: H01J61/02 ; H01J61/30 ; H01J65/04
Abstract:
公开一种用于泵浦激光维持等离子体的系统。所述系统包含经配置以产生用于所述激光维持等离子体的相应泵照明脉冲的多个泵模块，其中至少一个泵模块经配置以产生在时间上与由所述多个泵模块中的至少一个其它泵模块产生的另一串泵脉冲交错的一串泵脉冲。所述系统进一步包含经配置以将来自所述多个泵模块的所述相应泵照明脉冲引导到所述激光维持等离子体的集光体积中的多个非共线照明路径。
Public/Granted literature
- CN113366610A 用于使用交错脉冲照明源泵浦激光维持等离子体的系统及方法 Public/Granted day:2021-09-07
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