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大单晶比例铸锭单晶制备方法
Abstract:
本发明公开了大单晶比例铸锭单晶制备方法,首先制备籽晶并且进行籽晶熔接,籽晶熔接完成后,通过缓慢降温,使得籽晶先进行横向生长,即从籽晶的四个侧面向外进行生长,当晶体横向长满整个坩埚底部达到四面的坩埚壁时,筑基阶段完成后,晶体开始向上的垂直生长,直到晶体长到距顶部还有20~50mm时,保持顶部的正向温度梯度,以确保顶部硅液不会发生先行凝固成壳的情况,保持顶部温度1550℃,实现顶部定向加热,晶体开始生长,整个长晶过程会持续24小时左右;在1356℃退火2小时、并冷却10小时即得大单晶硅锭;本发明能够提高保证在用铸锭法进行单晶生长时,结合特定的坩埚结构,不会产生多晶形核,从源头上消除了铸锭单晶的多晶形核的可能性。
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