Invention Publication
CN113373515A 大单晶比例铸锭单晶制备方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 大单晶比例铸锭单晶制备方法
-
Application No.: CN202110632333.6Application Date: 2021-06-07
-
Publication No.: CN113373515APublication Date: 2021-09-10
- Inventor: 韩科选 , 薛赓
- Applicant: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市吴江区江陵街道长安路吴江科技创业园2号楼6层
- Assignee: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Current Assignee: 苏州步科斯新材料科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市吴江区江陵街道长安路吴江科技创业园2号楼6层
- Agency: 苏州汇智联科知识产权代理有限公司
- Agent 黄晶晶
- Main IPC: C30B29/06
- IPC: C30B29/06 ; C30B11/00 ; C30B11/14

Abstract:
本发明公开了大单晶比例铸锭单晶制备方法,首先制备籽晶并且进行籽晶熔接,籽晶熔接完成后,通过缓慢降温,使得籽晶先进行横向生长,即从籽晶的四个侧面向外进行生长,当晶体横向长满整个坩埚底部达到四面的坩埚壁时,筑基阶段完成后,晶体开始向上的垂直生长,直到晶体长到距顶部还有20~50mm时,保持顶部的正向温度梯度,以确保顶部硅液不会发生先行凝固成壳的情况,保持顶部温度1550℃,实现顶部定向加热,晶体开始生长,整个长晶过程会持续24小时左右;在1356℃退火2小时、并冷却10小时即得大单晶硅锭;本发明能够提高保证在用铸锭法进行单晶生长时,结合特定的坩埚结构,不会产生多晶形核,从源头上消除了铸锭单晶的多晶形核的可能性。
Information query
IPC分类: