- 专利标题: 一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法
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申请号: CN202110655172.2申请日: 2021-06-11
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公开(公告)号: CN113466393A公开(公告)日: 2021-10-01
- 发明人: 王海容 , 石路嘉 , 王久洪 , 吴欣雨 , 韩宝庆 , 王大祚 , 陈家洛
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 姚咏华
- 主分类号: G01N30/60
- IPC分类号: G01N30/60 ; B01D15/10 ; B01D53/04 ; B01J20/283 ; B01J20/30
摘要:
本发明公开了一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法,包括在硅片上光刻剥离形成铝掩膜层;通过刻蚀形成带有微立柱阵列的色谱柱微流道;酸溶液浸泡硅片,去除掩膜并与硼硅玻璃键合;在硅片背面溅射钛与铂作为测温电阻、加热丝与电极;溅射金作为电极引脚;毛细管连接微型气相色谱柱两端口;在色谱柱微流道内构筑介孔二氧化硅微球,静态涂覆方式涂覆离子液体固定相。色谱柱内介孔结构极大增加了固定相的涂覆面积,在有限色谱柱长度内提高分离能力,对氧气有很好的耐受性,保证微色谱柱在高温有氧环境下的高可靠性、高稳定性和高柱效,能够直接运用空气作载气,为VOCs检测系统提供一种优良的微色谱柱。
公开/授权文献
- CN113466393B 一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法 公开/授权日:2022-07-12