发明公开
- 专利标题: 一种存储装置及其制造方法
-
申请号: CN202110736147.7申请日: 2021-06-30
-
公开(公告)号: CN113471212A公开(公告)日: 2021-10-01
- 发明人: 张坤 , 刘磊 , 杨涛 , 吴林春 , 周文犀 , 夏志良 , 霍宗亮
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 代理机构: 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理商 李路遥; 张颖玲
- 主分类号: H01L27/11568
- IPC分类号: H01L27/11568 ; H01L27/11582 ; H01L27/11521 ; H01L27/11556 ; H01L25/18
摘要:
本申请提供了一种存储装置及其制造方法。所述方法包括:提供相互键合的第一半导体结构和第二半导体结构,所述第一半导体结构包括第一衬底、牺牲层和叠层结构,以及贯穿所述叠层结构和所述牺牲层的沟道孔;其中,所述牺牲层设置在所述第一衬底靠近所述第二半导体结构的一侧,所述叠层结构设置在所述牺牲层靠近所述第二半导体结构的一侧,所述沟道孔内形成有沟道层,且所述沟道层延伸到所述牺牲层中;去除所述第一衬底和所述牺牲层,以暴露所述沟道孔的末端;对所述沟道孔内的所述沟道层进行掺杂,以形成掺杂沟道层;所述掺杂沟道层的至少一部分位于所述叠层结构中;形成掺杂半导体层,所述掺杂半导体层覆盖所述沟道孔的末端和所述叠层结构。
公开/授权文献
- CN113471212B 一种存储装置及其制造方法 公开/授权日:2022-05-03
IPC分类: