发明公开
- 专利标题: 一种自动化加工控制方法及设备
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申请号: CN202111053160.9申请日: 2021-09-09
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公开(公告)号: CN113523948A公开(公告)日: 2021-10-22
- 发明人: 陈炳寺 , 戴磊
- 申请人: 江苏佳晟精密设备科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省徐州市邳州市经济开发区环城北路北侧非晶产业园三期16号厂房
- 专利权人: 江苏佳晟精密设备科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏利泷半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 221000 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区环城北路海归人才创业园北区2号
- 代理机构: 江苏长德知识产权代理有限公司
- 代理商 陈飞
- 主分类号: B24B9/06
- IPC分类号: B24B9/06 ; B24B27/00 ; B24B41/06 ; B24B7/17 ; B24B7/22 ; B24B37/08 ; B24B37/28 ; B24B37/34
摘要:
本发明涉及芯片加工技术领域,公开了一种自动化加工控制方法及设备,自动化加工设备包括承载盘以及设于承载盘底部的下磨盘,承载盘内部设有一个太阳轮以及一个以上的游星轮,游星轮的内部设有一个以上的装夹孔,装夹孔的孔壁上设有多个均匀环形阵列分布的装夹单元,装夹单元包括夹块、第一连杆、第二连杆以及连接第二连杆的球头,夹块固定的连接第一连杆的内端,第一连杆的外端插入第二连杆中,并且第一连杆与第二连杆滑动的配合,在第一连杆与第二连杆之间连接有弹簧,该弹簧设于第二连杆内部;本发明将倒角和表面研磨两个工艺均通过双面研磨机进行加工,缩短晶片加工工艺流程,降低设备成本。
公开/授权文献
- CN113523948B 一种自动化加工控制方法及设备 公开/授权日:2021-12-03