一种自动化加工控制方法及设备
摘要:
本发明涉及芯片加工技术领域,公开了一种自动化加工控制方法及设备,自动化加工设备包括承载盘以及设于承载盘底部的下磨盘,承载盘内部设有一个太阳轮以及一个以上的游星轮,游星轮的内部设有一个以上的装夹孔,装夹孔的孔壁上设有多个均匀环形阵列分布的装夹单元,装夹单元包括夹块、第一连杆、第二连杆以及连接第二连杆的球头,夹块固定的连接第一连杆的内端,第一连杆的外端插入第二连杆中,并且第一连杆与第二连杆滑动的配合,在第一连杆与第二连杆之间连接有弹簧,该弹簧设于第二连杆内部;本发明将倒角和表面研磨两个工艺均通过双面研磨机进行加工,缩短晶片加工工艺流程,降低设备成本。
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