- 专利标题: 滤波器芯片封装结构及用于滤波器芯片封装的方法
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申请号: CN202111110242.2申请日: 2021-09-23
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公开(公告)号: CN113572445A公开(公告)日: 2021-10-29
- 发明人: 不公告发明人
- 申请人: 深圳新声半导体有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市龙华区民治街道民泰社区万科金域华府一期1-8座5座301
- 专利权人: 深圳新声半导体有限公司
- 当前专利权人: 深圳新声半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市龙华区民治街道民泰社区万科金域华府一期1-8座5座301
- 代理机构: 北京康盛知识产权代理有限公司
- 代理商 陶俊洁
- 主分类号: H03H3/02
- IPC分类号: H03H3/02 ; H03H9/02 ; H01L41/23 ; H01L41/053
摘要:
本申请涉及体声波谐振器技术领域,公开一种滤波器芯片封装结构,包括:滤波器晶圆和滤波器盖体;通过在滤波器盖体上设置有第一通孔、第二通孔,第一金属层位于第一通孔内的部分被限定成第一凹槽,第二金属层位于第二通孔内的部分被限定成第二凹槽;第一凹槽内填充有第一金属填充层,第二凹槽内填充有第二金属填充层;第一金属层穿过第一通孔连接滤波器晶圆;第二金属层穿过第二通孔连接滤波器晶圆;在第一金属填充层上设置有第一焊锡凸点;在第二金属层上设置有第二焊锡凸点。这样,由于滤波器盖体设置的通孔被金属填充层填满,使得通孔的导热能力更好,从而散热效果更好。本申请还公开一种用于滤波器芯片封装的方法。
公开/授权文献
- CN113572445B 滤波器芯片封装结构及用于滤波器芯片封装的方法 公开/授权日:2022-01-07