发明授权
- 专利标题: 工件的两面抛光方法及工件的两面抛光装置
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申请号: CN201980094479.0申请日: 2019-12-26
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公开(公告)号: CN113573843B公开(公告)日: 2023-10-31
- 发明人: 宫崎裕司
- 申请人: 胜高股份有限公司
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 胜高股份有限公司
- 当前专利权人: 胜高股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 李婷; 王玮
- 国际申请: PCT/JP2019/051215 2019.12.26
- 国际公布: WO2020/194971 JA 2020.10.01
- 进入国家日期: 2021-09-22
- 主分类号: B24B37/005
- IPC分类号: B24B37/005 ; B24B37/08 ; B24B49/03 ; H01L21/304
摘要:
本发明的工件的两面抛光方法,包括:抛光前指标计算工序,在前批次中的两面抛光后,对于进行了该两面抛光的工件计算指标Xp;目标抛光时间计算工序,利用规定预测式,计算现批次中的目标抛光时间;以及两面抛光工序,利用所述目标抛光时间,两面抛光工件。并且,本发明的工件的两面抛光装置,具备:测定部,在前批次中的两面抛光后,测定进行该两面抛光的所述工件厚度工件的厚度;第1计算部,计算指标Xp;第2计算部,利用规定预测式,计算所述现批次中的目标抛光时间Tt;以及控制部,控制成利用所述目标抛光时间Tt两面抛光所述工件。
公开/授权文献
- CN113573843A 工件的两面抛光方法及工件的两面抛光装置 公开/授权日:2021-10-29