发明授权
- 专利标题： 陶瓷加热器
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申请号： CN202080021382.X申请日： 2020-03-04
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公开(公告)号： CN113632589B公开(公告)日： 2024-10-01
- 发明人: 高崎秀明
- 申请人： 日本碍子株式会社
- 申请人地址： 日本爱知县
- 专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人： 日本碍子株式会社
- 当前专利权人地址： 日本爱知县
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 陈彦; 孔博
- 国际申请： PCT/JP2020/009188 2020.03.04
- 国际公布： WO2020/189286 JA 2020.09.24
- 进入国家日期： 2021-09-15
- 主分类号： H05B3/14
- IPC分类号： H05B3/14 ; H05B3/74 ; H01L21/02 ; H01L21/205 ; H01L21/31 ; H01L21/683
摘要：
陶瓷加热器(31)中，在具备晶片载置面(32a)的AlN陶瓷基体(32)中从接近晶片载置面(32a)的一侧起以分开的状态依次埋设有等离子体产生用的RF电极(33)、加热器电极(34)。AlN陶瓷基体(32)具备设置于RF电极(33)与加热器电极(34)之间的AlN陶瓷高电阻层和高电阻层以外的AlN陶瓷低电阻层。高电阻层和低电阻层均包含Si、Mg和Ti。高电阻层与低电阻层相比，Mg和Ti的含量多，体积电阻率高。
公开/授权文献
- CN113632589A 陶瓷加热器 公开/授权日：2021-11-09
