- 专利标题: 光谱仪激发光、分束器和滤光片的联动切换装置
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申请号: CN202110790823.9申请日: 2021-07-13
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公开(公告)号: CN113640219B公开(公告)日: 2024-02-27
- 发明人: 窦秀明 , 丁琨 , 孙宝权
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 鄢功军
- 主分类号: G01N21/01
- IPC分类号: G01N21/01 ; G01N21/64 ; G01N21/65
摘要:
本发明提供了一种光谱仪激发光、分束器和滤光片的联动切换装置,其特征在于,所述联动切换装置包括:底板;旋转位移台,通过旋转位移台支架固定于所述底板;转动管,固定于所述旋转位移台的中心孔;转动反射镜,固定于所述转动管的入射端;转动分束器固定架,固定于所述转动管的出射端;分束器,固定于所述转动分束器固定架;长波通滤光片,固定于所述转动分束器固定架;入射光耦合立方,通过入射光耦合立方支架固定于所述底板;入射反射镜,固定于所述入射光耦合立方,反射激发光至转动反射镜;高度提升反射镜,包括第一高度提升反射镜和第二高度提升反射镜,通过高度提升反射镜支架固定于所述底板。
公开/授权文献
- CN113640219A 光谱仪激发光、分束器和滤光片的联动切换装置 公开/授权日:2021-11-12