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公开(公告)号：CN102866065A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210332942.0
申请日：2012-09-10
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明提供了一种连续加压装置。该连续加压装置包括：圆筒(6)；压电陶瓷(4)，设置于圆筒(6)内；滑块(3)，设置于圆筒(6)内，压设于压电陶瓷(4)的上表面，其外侧壁可沿圆筒(6)的内侧壁上下滑动；对顶砧(1)，其部分的设置于圆筒(6)内，压设于滑块(3)的上表面。本发明可以对测试样品连续、精确地加压。
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公开(公告)号：CN106198395A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610499854.8
申请日：2016-06-29
申请人： 中国科学院半导体研究所
CPC分类号： G01N21/17 , G01N21/01 , G01N2021/1789 , G01N2201/0642
摘要： 本发明提供了一种雪崩二极管探测器光耦合系统及其测量方法，所述系统包括：光学密封盒、光谱仪、光纤、三轴光纤调节架、雪崩二极管探测器，所述光谱仪对样品发射的光信号进行光谱过滤，所述光学密封盒固接于光谱仪的出射狭缝端，接收由光谱仪出射的光信号，并屏蔽外部杂散光，光纤的输入端通过三轴光纤调节架固定至光学密封盒，接收所述光信号，雪崩二极管探测器，其光纤接口连接光纤的输出端，用于探测所述光信号，本发明采用光纤将雪崩二极管探测器光耦合转变为光纤的光耦合，来实现方便、准确进行光谱测量。
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公开(公告)号：CN103575708B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310594591.5
申请日：2013-11-21
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明提供了一种检测光通讯波段半导体材料发光单光子特性的方法。该方法依靠准静水压压力装置对光通讯波段的半导体发光材料施加压力，将其发光波长向短波方向移动，而进入硅单光子探测的光谱探测范围，结合配有两个硅单光子探测器的HBT单光子测试系统进行检测，可以快速检测半导体样品位于光通讯波段的发光的单光子特性，具有简单、快速、高效、经济的优点。
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公开(公告)号：CN117607108A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311554269.X
申请日：2023-11-21
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 一种半导体点缺陷的测量系统、测量方法，该测量系统，包括：荧光产生装置，适用于发射探测激光，并将探测激光聚焦至半导体样品表面上的目标区域，激发半导体点缺陷产生目标荧光；单光子成像装置，适用于对激光目标区域内的点缺陷进行荧光成像；点缺陷检测装置，包括：光谱检测单元，适用于检测目标荧光的光谱信息；光子关联测量单元，适用于检测目标荧光的光子统计特性，判断目标荧光是否为单个点缺陷发光。
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公开(公告)号：CN116878670A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310841344.4
申请日：2023-07-10
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明提供了一种红外探测器瞬态响应特性的测试系统，涉及光电探测领域，包括：红外光源单元，用于发射红外脉冲激光光束；可见光源单元，包括：可见激光器，用于发射可见激光光束；可见中性密度衰减片，用于衰减可见激光光束的强度；光纤耦合器，用于耦合可见激光光束；可见光纤，用于传输可见激光光束；准直对准单元，包括：反射式光纤准直器，用于准直红外脉冲激光光束和可见激光光束为平行光；光阑，用于准直红外脉冲激光光束和可见激光光束至光路统一高度；白光成像单元，用于可见激光光束聚焦光斑的成像；红外探测器，用于将红外脉冲激光光束光信号转换为电信号；光电信号处理单元，用于根据电信号测试红外探测器的瞬态特性。
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公开(公告)号：CN113640219A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110790823.9
申请日：2021-07-13
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明提供了一种光谱仪激发光、分束器和滤光片的联动切换装置，其特征在于，所述联动切换装置包括：底板；旋转位移台，通过旋转位移台支架固定于所述底板；转动管，固定于所述旋转位移台的中心孔；转动反射镜，固定于所述转动管的入射端；转动分束器固定架，固定于所述转动管的出射端；分束器，固定于所述转动分束器固定架；长波通滤光片，固定于所述转动分束器固定架；入射光耦合立方，通过入射光耦合立方支架固定于所述底板；入射反射镜，固定于所述入射光耦合立方，反射激发光至转动反射镜；高度提升反射镜，包括第一高度提升反射镜和第二高度提升反射镜，通过高度提升反射镜支架固定于所述底板。
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公开(公告)号：CN102866065B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201210332942.0
申请日：2012-09-10
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明提供了一种连续加压装置。该连续加压装置包括：圆筒(6)；压电陶瓷(4)，设置于圆筒(6)内；滑块(3)，设置于圆筒(6)内，压设于压电陶瓷(4)的上表面，其外侧壁可沿圆筒(6)的内侧壁上下滑动；对顶砧(1)，其部分的设置于圆筒(6)内，压设于滑块(3)的上表面。本发明可以对测试样品连续、精确地加压。
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公开(公告)号：CN113640219B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202110790823.9
申请日：2021-07-13
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 本发明提供了一种光谱仪激发光、分束器和滤光片的联动切换装置，其特征在于，所述联动切换装置包括：底板；旋转位移台，通过旋转位移台支架固定于所述底板；转动管，固定于所述旋转位移台的中心孔；转动反射镜，固定于所述转动管的入射端；转动分束器固定架，固定于所述转动管的出射端；分束器，固定于所述转动分束器固定架；长波通滤光片，固定于所述转动分束器固定架；入射光耦合立方，通过入射光耦合立方支架固定于所述底板；入射反射镜，固定于所述入射光耦合立方，反射激发光至转动反射镜；高度提升反射镜，包括第一高度提升反射镜和第二高度提升反射镜，通过高度提升反射镜支架固定于所述底板。
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公开(公告)号：CN106198407B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201610532956.5
申请日：2016-07-07
申请人： 中国科学院半导体研究所
摘要： 一种样品空间扫描及定位装置，其包括：底座，第一位移台，可滑动的固接于底座上，能够相对于底座在第一方向上移动；第二位移台，可滑动的固接于所述第一位移台，能够相对于第一位移台在第二方向上移动；第三位移台，可滑动的固接于所述第二位移台，能够相对于第二位移台在第三方向上移动；以及光路系统，用于光谱测量的激发和收集，采用三个位移台的联动设计使样品光谱收集物镜和光路实现同步三维空间移动，使光谱测量更加方便和高效。
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公开(公告)号：CN106198407A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610532956.5
申请日：2016-07-07
申请人： 中国科学院半导体研究所
CPC分类号： G01N21/255 , G01N21/01 , G01N21/6458 , G01N2021/0112 , G01N2201/1035
摘要： 一种样品空间扫描及定位装置，其包括：底座，第一位移台，可滑动的固接于底座上，能够相对于底座在第一方向上移动；第二位移台，可滑动的固接于所述第一位移台，能够相对于第一位移台在第二方向上移动；第三位移台，可滑动的固接于所述第二位移台，能够相对于第二位移台在第三方向上移动；以及光路系统，用于光谱测量的激发和收集，采用三个位移台的联动设计使样品光谱收集物镜和光路实现同步三维空间移动，使光谱测量更加方便和高效。
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