发明授权
- 专利标题： 阳极保持器以及镀覆装置
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申请号： CN202080032068.1申请日： 2020-05-28
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公开(公告)号： CN113748233B公开(公告)日： 2024-06-18
- 发明人: 神田裕之 , 池田大成 , 木村诚章 , 长井瑞树
- 申请人： 株式会社荏原制作所
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人： 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 康晓宇
- 国际申请： PCT/JP2020/021060 2020.05.28
- 国际公布： WO2020/250696 JA 2020.12.17
- 进入国家日期： 2021-10-28
- 主分类号： C25D17/10
- IPC分类号： C25D17/10 ; C25D17/00 ; C25D21/04 ; C25D7/12
摘要：
本发明涉及一种能够抑制镀覆装置中的添加剂的消耗的阳极保持器以及镀覆装置。提出了用于保持镀覆装置中所使用的阳极的阳极保持器，上述阳极保持器具备：内部空间，形成于上述阳极保持器的内部，用于收容上述阳极；掩膜，具有多个孔，并构成为覆盖上述内部空间的前面；以及隔膜，在上述掩膜中的覆盖上述内部空间的前面的区域，该隔膜的至少一部分固定于上述掩膜。
公开/授权文献
- CN113748233A 阳极保持器以及镀覆装置 公开/授权日：2021-12-03
